С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

W
билан
С(и) = — А
богланишда булишлигини назарда тутсак,
W 
£ £ А
(4.198) ифодани - ~ у билан тугри чизикди богланишда
булишлигини курамиз. Бу ерда 
А-р-п
утиш ёки Шоттки 
тусигининг ю заси
е —
яримутказгичнинг диэлектрик синг­
дирувчанлиги С(и) хар хил кучланишдаги тусик chfhmh.
Шундай кдлиб, 
р-п
утиш ва шоттки тусикдарининг 
киска туташув фототоки оркали диффузион узунликни 
аникдашнинг иккинчи усулида уларга куйилган хар хил 
кучланишларда бир вак,тда бир хил интенсивликдаги ёрур- 
лик билан ёритишдан хосил булган к,иск,а туташув ф от о­
токининг суниш chfhmh улчанади ва улчанган 
j
нинг
--- 
л
га богланиши чизилади. (4.20 в-расм). Бу богла-
нишнинг тугри чизикди сохасини абсцисса уки билан ке- 
сишгунча давом эттириб, у кесма узунлигидан диффузи-
г 
£ 
Е0^
он узунлик топилади At 
= ^
. Бундай улчашни утка-
зишда ёругликнинг 
aw<
1 тенгсизлик уринли булган 
спектрал сохаси танланади. Бундан тапщари, заряд та-
253

---

шувчилар яшаш вакти хджмий заряд сохасининг дрейф 
вактидан катта булиши кераклиги курсатилган. 
GaP
учун 
/др-10~12С. Сигам С(и) намуна ёритилган х,олатда 1 МГ 
частотада улчанган. Юкорида изо\ланганлардан курина­
дики, бу усул эпитаксиал кдгламларда номувозанат асо­
сий булмаган заряд ташувчиларнинг кичик диффузион 
узунлигини улчаш мумкин. Хамда х,ар хил шароитда х,ар 
хил калинликда утказилган тажриба натижалари диффу­
зия коэффициентини, сирт рекомбинацияси тезлигини, 
заряд ташувчилар яшаш вакгини аникдашга имкон бе- 
ради.

---

5 - Б О Б
ЧУК,УР САПЦ1И МАРКАЗЛАР ПАРАМЕТРЛАРИНИ 
У Л Ч А Ш УСУЛЛАРИ
5Л-§. Чукур сатхни марказларнинг параметрлари
Яримутказгич магериалларининг так^цланган зонала- 
рида чукур энергия сапутрини х,осил кдладиган крис­
талл панжара нук,сонлари чукур сат^уш марказ (тущич- 
лар) деб юритилади. Бу нуксонларга киришма атомлари- 
ни, радиацион нудоонларни, термик ишлов жараёнларида 
пайдо булган термик нуксонларни курсатиш мумкин. Чу­
кур сат\ли марказлар рекомбинация марказлари ёки тут- 
к,ич марказлари каби буладилар. Биринчи долда чукур 
сат\лар заряд ташувчиларнинг яшаш вак,тини, диффузи­
он узунлигини камайишига олиб келади ва яримутказгич 
асбобларининг характеристикаларига кучли таъсир курса- 
тади. Чукур сатх, (ЧС) лар рекомбинацион марказлар си- 
фатида лазер ва ёруглик (свето) диодларининг нурланиш 
интенсивлигини камайтиради. Чукур сатхни марказлар 
тугк,ич марказлари сифатида заряд тупланишига таъсир 
жилищи мумкин. Назорат остида киритилган чукур сатх,- 
ли марказ (ЧСМ)лар бир к,анча долларда яримутказгич- 
ларда керакли хусусиятлар досил кдлиши мумкин. Маса­
лан, арсенидгаллий (
GaAs)
га киритилган хром киришма 
атоми юдори Ом ли (каршилиги катта булган) намуналар 
олишга имкон беради. Кремнийни тилла (
Аи
), платина 
(
Pt
) киришма атомлари билан легирлаб, заряд ташувчи­
лар яшаш вакгини бир неча тартибга камайтиришга эри- 
шилди ва у намуналар асосида саноатда тезкор импульс - 
ли диод ва тристорлар ишлаб чик,ариш йулга куйилди. 
Демак, яримугказгичларда ЧСМлар макбул ва номак,бул 
додисаларни содир килар экан. Шунинг учун чукур сат\- 
лар хоссаларини урганиш, технологик жараёнларда пай­
до булишлигини назорат к,илиш, улар табиатини аник,- 
лаш яримутказгичлар физикасида мух,им урин тутади.
255

---

Заряд 
ташувчилар булмиш электронни, ковакни ЧСларга 
гут и б олгунча, гутгандан сунг к,андай зарядланган \ола- 
тида булишига караб, саёз сатхдар каби, чукур марказ 
донор ёки акцептор характерига эга булиши мумкин. Чу­
кур сатхдар хоссалари такикданган зонадаги х;олати