|
L
ни улчашда кенг кулланилмаган.
L
ни улчашда
иложи борича сирт рекомбинацияни \ар хил ишловлар
билан камайтириш керак. Масалан, германийни M l0 ва
М
14 сайкалловчи кукунларда сайкаллаш ва 30% ли Н 20 2
(водород нероксидида) кимёвий ишлов бериш тавсия эти-
лади. Агар
/
j
-
т и п
германийда улчаш утказиладиган булса,
вольфрам зонди /ьтипда эса кумуш котишмасининг зон
ди ишлатилади. Бу усул асосий булмаган заряд ташувчи
лар диффузион узунлигини 0,1 дан то бир неча милли-
метргача булган ораликда 15—20% хатолик билан улчаш-
га имкон беради. Тор зонали яримутказгич бирикмалари
А,В, да кичик диффузион узунликларни улчаш учун пла-
нар технология билан олинган
р-п
утишли ёки шоттки
гусикди намуналар тайёрланади. Кузгалувчан зонд усу-
лига 4.17 б, в, г-расмда келтирилган хрлларни \ам курса-
тиш мумкин. Бу холда асосий булмаган заряд ташувчи
лар коллектори вазифасини
р-п
утиш утайди. Ёруглик
зонди бир томонга нишаб ёки шар шлифлари буйича
кузгатилади. Бу усулларда заряд ташувчиларнинг
р-п
ути-
шини йигиш коэффициенти
4.17-расм.
Диффузион узунликни кузгалувчан ёруглик (электрон)
зонди билан улчаш усуллари:
а)
Вальдес усули билан улчаш сох,аси;
6) р-п
утишни;
в)
нишаб сферик сиртларни куллаш усуллари.
диффузион узунликка, ёругликни ютиш коэффициента -
га ва
S/D
нисбатга бостик,. Назарий хисоблашларнинг
курсатишича, шлиф сиртидан то
р-п
утишгача булган етар-
лича катта (диффузион узунлик
L
га нисбатан) масофа
х>хкр
да
х а>\, х > Ь
ва
аЬ>\
тенгсизлик уринли сохдда
йигиш коэффициента ехр|-у| \ад билан аникданади.
239
богланишнинг огишидан диффузион узунликни
1п( / ^ г/ (
) шах )
оркдии топилади. Агар коллектор токи А
р
катталик би
лан ночизигий борланган булса, доимий (узгармас) фото
ток усули кулланилади. Бу долда номувозанат заряд та
шувчиларнинг генерацияланиш со^асида концентрация
Ар(0)
ёруглик интенсивлигига чизикди богланган деб фараз
кдлинади. У вак,тда
булади. Шундай килиб, х,ар хил масофада бир хил узгар
мас коллектор фотогокини таъминловчи ёруглик интен-
сивлигини билиб,
L
ва г ларни топиш мумкин. Масалан,
иккита масофада бир хил фотосигналларни досил к,илув-
чи
1М
ва /м ёруглик интенсивликларининг кийматини
билган долда
лади.
Ар
ёки ln/^ ларни х га богланишининг огишидан
L
ни бу усул билан аникдашда \еч кандай кушимча пара-
метрларни билиш талаб этилмайди т ни аникдаш учун
D
ни билиш талаб килинади. Амалиётда ёруглик зондининг
кузгалувчан усули билан диффузион узунликни 1>50 мкм
со\ада улчаш мумкин. Диффузия коэффициенти
D
= 40
см2/с
/7-тип
кремнийда, яшаш вак,тинингг = 10~6 сек к,ий-
А10>ле 2 = Л1{)у2е 2
=
const
(4.173)
X —
X
ифодадан диффузион узунлик
L
= — 2---1_ билан топи-
мати тугри келади. Кейинги йилларда ёруглик манбаи си-
фатида лазер нурларидан фойдаланилмокда, фокусловчи
оптик тизим сифатида микроскоп (масалан, М БИ —11)
кулланилади.
6. Ёруглик нури (зонди)нинг щрак атл а ну в ч и усули
Яримутказгичлар параметрларини улчашнинг бу усу
ли намуна ясси сирти буйлаб узгармас тезлик
V
билан
Харакатланувчи фотон энергияси
hw>Eg
булган узун,
ингичка ёруглик (зонди) нури генерациялаган асосий
булмаган номувозанат заряд ташувчиларнинг таксимоти
АР (х, у, z,
0 ни урганишга асосланган.
Ар (х, у
,
z, t)
ни
тескари кучланиш берилган, турриловчи яримтутказгич-
металл нуктавий контакти (зонди) ёки кичик юзали
р-п
>тиш, шоттки тусиги оркали кайд килинади (4.18-расм).
Ёруглик зондидан \осил булган номувозанат заряд та
шувчилар намунанинг ёритилмаган кисмига диффузия-
ланади. Ёруглик зондининг харакатланиши туфайли, за
ряд ташувчиларнинг фазодаги таксимоти намуна буйлаб
ёруглик зонди билан кучиб юради.
Ар (х, у, z, t)
нинг
назарий ифодасини аникдашда яримутказгич намунаси
л-тип булсин, унинг буйи (а), эни (
b
) калинлиги
d
дан
катта
a>b>d
булсин, деб оламиз. У х,олда намуна ён сирт-
ларидаги рекомбинация х,исобга олинмайди ва номуво
занат заряд ташувчилар концентрацияси факат икки
х, z
координаталар \амда вакт функцияси булади Намуна
нинг ёритилмаган сохасида генерация тезлиги# = 0 булга-
ни учун, асосий булмаган заряд ташувчилар концентра-
4.18-расм.
Номувозанат заряд ташувчилар параметрларини
харакатланувчан ёруглик зонди усули билан улчаш
курилмасиннинг схемаси.
241
циясининг намуна к орот и кисмидаги такримоти
Ар (х,
z, t)
at
~
р
узлуксизлик тенгламанинг
= Ddiv(gmdAp)
-
(4.174)
D,
D,
дАр
dZ
дАр
dZ
=
-SAp
z
=О
=
SAp(d)
Z=d
(4.175)
чегаравии шартларни каноатлантирувчи ечими оркдли то
пилади. Ёруглик зонди билан бирга х,аракатланувчи ко
ордината системасида
£=x+vt
rj = z
(4.176)
номувозанат заряд ташувчиларнинг таксимоти вак,тга
боигак булмайди, яъни стационар булади. (4.174) тенг-
лама янги координата системасида узгарувчанларни аж
ратиш усули оркали ечилади, сунг кузгалмас координа
та системасига утилади. (4.174) тенгламанинг кузгалмас
координата системасида ёруглик нурининг унг томони-
даги ечими
/
\
X
f v H
r r ,
exp
V
Ар(х, z, t)
= С, ехр
еруглик нурининг чап томонида
-
sin «,г + cos а,г
(4.177)
Ар (х, z,
/)=С2ехр [ -
f j
ехр
sin
a 2z
+ cos
a 2z
(4.178)
242
куринишда булади. С,, С, — интеграллаш доимийлари
4-
L 2
2
Dn
I
«1
1 к
Do'stlaringiz bilan baham: |
