С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

 
,
dx
V
d
L1)
sh
+ £sh
 —
+
 —
-1
[z\
I 
к
L
2
,
х = 0
d 
d
%ch
 — + 
sh
 —
куринишда булади. Бу ерда,
Ц =
1 + кот
Уг
D2*2
1 + 
йот п
У2
(4-76)
(4.77)
Тагликдаги ва эпитаксиал кдтламдаги асосий заряд ташув­
чилар концентрациялари нисбати ~  > 103 булганда
С 
f A T ) > Ю ’ 
булади ва ток ифодаси соддалашади.
J
kt
— е&
 
о
, 
d 
. d 
Lytg-- 1-
ysch —
(4.78)
Бу ифоданинг биринчи адди эпитаксиал катламда гене- 
рацияланган заряд ташувчиларнинг иккинчи \ади таглик- 
дан эпитаксиал к,атламга инжекцияланган заряд ташув- 
чилардан йигувчи контактга етиб келган к,исмининг фо- 
тотокга к$шган хиссасини курсатади. Ш уни нг учун
196

---

иккинчи 
Х Д Ц И Н И
эътиборга олмаслик мумкин ва фототок 
амплитудасини
^
, hl7 - ^ y i ] 
< 4 ' 7 9 )
1 +
io
г,
ифодадан \исоблаш мумкин. Паст частоталар &>г<1 да 
фототок фазасининг силжиши
1-
(А»,)
К
( % , )
К
(4.80)
билан аникланади. Агар 
— = 2 булганда (4.80) ни
d
иккинчи хдци бирга нисбатан анча кичик. Буни эътибор­
га олмаганда
t g O = ~ ^ Y
билан аникданишини курамиз 4.5-расмда солиштирма 
каршилиги 28 Ом. см, калинлиги 50,2 мкм, заряд ташувчи­
ларнинг диффузион узунли- 
ги 18,5 мкм булган кремний 
эпитаксиал катлами учун 
\исобланган tg# ва фототок 
амплитудасини ёруглик ин- 
тенсивлигини модуляция 
частотасига богланиш гра- 
фиги келтирилган. Келти- 
рилган назарий богланиш 
тажриба натижалари билан 
мос тушган. Бу юкорида кел­
тирилган назарий х,исоблаш- 
ларда кабул килинган фараз- 
лар уринли эканлигидан да-
4.5-расм.
Фаза силжиши 
tgq нинг ва фототок 
амплитудасининг модуляция 
частотасига боманиши.
197

---

H 
L 
С
4.6-расм.
Шоттки диодининг фототоки буйича фазаний усул билан 
заряд ташувчилар яшаш вактини улчаш курилмасининг схемаси. 
Ф П — юк,ори частотали фотокабул кил гич (тезкор фотодиод):
П — Поккельс модулятори: Н — намуна: У — кучайтиргич:
JI — лазер: Ф В — фаза сезгир вольтметр: 3 — ясси кузгу.
лолат беради. Эпитаксиал структураларда г ни аникдаш 
курилмасининг чизмаси 4.6-расмда келтирилган. Курил- 
мада электрооптик Поккельс ячейкаси (II) билан моду­
ляцияланган лазер нури намунанинг таглик томонига ту- 
ширилади. Ёруглик ок,ими навбатма-навбат (галма-гал) 
кузгу оркдли намуна 0 га, юк,ори частотали фотокдбул- 
Килгич (фп) га тушади. Фоток.абулк.илгич фп — стандарт 
фазали таянч сигнални хрсил килади. Намуна ва фоток,а- 
бул килгич томонидан пайдо булган сигналлар фазага 
сезгир вольтметрга берилади. У билан намуна ва фоток,а- 
булкигичдаги сигналлар амплитудалари нисбати ва улар 
орасидаги фаза силжиши улчанади. Шуни таъкидлаш ке- 
ракки, лазер нури интенсивлигининг узгариши резонанс 
контурининг сифати модуляция частотасидаги улчаш на- 
тижаларига таъсир курсатмайди. Бу усулнинг ютугига г 
ни осон \исоблашликни ва улчаш натижасини сирт иш- 
ловига кучсиз богланишини курсатиш мумкин, улчаш 
мумкин булган — г нинг куйи чегараси структура chfhmh 
ва унга кетма-кет булган каршилиги билан аникданади- 
ган максимал модуляция частотасига ботик,.