С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

е > е п
булган холда эса 
ХЗС нинг \амма «.исмида чукур акцептор сатх электрон 
билан тулатилган, яъни ионлашган 
(N L= N CD- N rA)
була­
ди. Ш унинг учун бундай сат\ни диод базасида мавжуд 
булиши chfhm хамда ЭНС утказувчанлигининг камайи­
шига олиб келади.
272

---

5.4 §. Яримутказгичлар чукур марказларн 
параметрларини аншушишинг сигам 
спектроскопия усуллари
Чукур сатхли марказ (ЧСМ)лар параметрларини улчаш- 
нинг сигим спектроскопия усули асосида 
р-п
утиш (ёки 
шоттки барьери)нинг \ажмий заряд сохаси (ХЗС)даги чу­
кур сатх, (ЧС) ларни электрон билан тулдирилганлик да- 
ражасига, барьер сигимига, куйилган тескари кучланиш, 
улчаш кучланиш частотаси, ёруглик, хароратларнинг таъ- 
сиридан юзага келган к,онуниятларни к,айд к,илиш (улчаш) 
ётади. Хозирги пайтда бир-биридан ЧСни электрон би­
лан тулдириш, камбакаллаштириш шароитлари билан 
фарк, хиладиган 
c h f h m
спектроскопия усулининг бир кан- 
ча турлари мавжуд. Уларга 
с и р и м н и н г
изотермик релак­
сация усулини, иссиклик билан рагбатлантирилган 
c h
­
f h m
релаксация усулини, фотосигим, частотавий усулни 
курсатиш мумкин. Бу усуллардан бирини куллаб юкори- 
да курилган ташк,и омиллар таъсиридан содир булган 
c h
­
f h m
узгаришининг умумий конуниятлари асосида чукур 
марказга тутилиш кесимларини, термик, фотоионланиш 
коэффициентларини улчаш мумкин. Бу усулларнинг асо- 
сий камчилиги улчаш учун махсус структуралар, маса- 
лан, 
р-п
утишли диод: Шоттки барьери ёки металл-диэ­
лектрик яримутказгичли структуралардан бирини тайёр- 
лашни курсатиш мумкин.
Яримутказгичларда чукур сатх параметрларини аник,- 
лашнинг 
c h f h m
спектроскопия усуллари, физик параметр- 
ларни 
c h f h m
орхали аниклаш усулининг бир куриниши 
булгани учун уларга характерли булган хамма хатолик 
манбалари юкрридаги усулларга хам тааллуклидир. Улчаш- 
даги хатоликни бахолаш шуни курсатадики, ЧС нинг та- 
к,икданган зонадаги энергиявий холатини, концентраци­
ясини аникдашдаги хатолик 10% дан ошмайди, киришма 
ионланиш кесимининг уз катталиги тартибвдаги хатолик 
билан улчаш мумкин