Rivojlanish vazirligi

F o to en erg etik a d a n a n o stru k tu ra li y a r im o ‘tk a zg ich m ateria llar
II xa lq a ro ilm iy an ju m a n i
19-20 noyabr 2021 yil
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. 2 - CneKTpantHaa 3aBucuMocTb ^oTonpoBoguMocra o6pa3^B c 
p~2,9-105 O
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p~2,8 104 O
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npu 7=100K.
HegocTaTKu 
TaKHx 
MaTepuanoB 
aBnaeTca 
npoBogeHua 
gocTaronHo 
gnuTentHoe BpeMa gu$$y3uu gnn nonyneHua paBHOMepHO nerupoBaHHoro 
KpeMHHa C m nill.MHhl d=0,8-0,5MM. npH gH$$y3HH 
S U Se B KpeMHHH B 
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ycnoBuax npoucxoguT 3HanuTenbHoe ^ppo3Ha noBepxHocTH, 
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co3gaeT gononHHTentHoe MexaHunecKue 
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xuMunecKue o6pa6oTKH MaTepuanoB 
nocne gu$$y3uu. OgHaKo 
b
pa6oTax[5-6] npegno^eHo 6e3^pp03H0HHbIH 
TexHonorua [7] gu$$y3uu ^THx npuMeceH, ocHoBaHo Ha ynpaBneHuu gaBneHueM 
napoB gu$$y3uaHTa S u Se 
c
noMorntro no ^Ta^HOMy noBbimeHu6 TeMnepaTypti 
go gu$$y3uoHHoH TeMnepaTypti. KaK noKa3bmaeT pe3ynbTara pa6oTti 
geHCTBUTentHo npuMeHeHua TaKoro cnoco6a gu$$y3uu HCKnronaeT ^ppo3Hro 
noBepxHocTH KpeMHua.
^HTepaTypa
1. ZHANG Jian, BA.Wei-zhen, CHEN Zhao-yang, CONG Xin-yun, TAO
Ming-de, 
M.K.Bahadirhanov//Higly 
Compensated 
Si: 
Light-Sensitive
Characterstic// Electronic Compennents & Materials, 2004, Vol. 23, No.3, pp. 20­
22.
2. M. K. EaxagtpxaHoB, C. E. HcaMoB, H. O. 3uKpunnaeB. OoTonpueMHHKu 
HKKH3nyneHua 
b
o6nacTH X = 1.5-8 
mkm
Ha ocHoBe KpeMHua 
c
MHoro3apagHtMH
325

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F o to en erg etik a d a n a n o stru k tu ra li y a r im o ‘tk a zg ich m ateria llar
II xa lq a ro ilm iy an ju m a n i
19-20 noyabr 2021 yil
HaHoKnacTepaMH aToMoB Map^aH^a// MHKP03.HEKTP0HHKA, 2012, 
tom
41, N° 
6, c. 433-435.
3. AronoB K.C., EaxagbipxaHoB M.K., HrneB X.M., MaBnoHoB r.X ., TannnHH 
C.A. MH0ro$yH^H0HanbHbiH gaTHHK $H3HHecKHx BenHHHH Ha ocHoBe KpeMHHH 
c HaHocTpyKTypaMH aToMoB MapraH^ // npn6opbi, 2017. N°4, C.7-10.
4. AcTpoB ro.A., Lynch S.A., fflyMaH B.E., n o p ^ n b .H.M., MaxoBa A.A., 
.HogbirHH A.H. KpeMHHH c noBbimeHHbiM cogep^aHHeM ogHoaroMHbix ^ rnpoB
cepbi: nonyneHHe 
h
omunecKaa cneKTpocKonna // OroHKa 
h
TexHHKa 
nonynpoBogHHKoB, 2013, 
tom
47, Bbin. 2.c.211-215.
5. AcTpoB ro.A., K
o
3
hob
B.A., .HogbirHH A.H., n o p ^ n b .H.M., fflyMaH B.E., 
Gurevich E.L., Hergenroder R.. nepepacnpegeneHHe ray6oKHx npHMeceft ceneHa 
h
cepbi 
b
KpeMHHH npH nernpoBaHHH noBepxHocTH ^oc^opoM. O Tn, 43, 739 
(2009).
6. M.K.EaxagbipxaHoB, 
H.O.3nKpnnnaeB, 
K.C.AronoB. 
OnTHManbHbie 
ycnoBHa nernpoBaHHa gna nonyneHHa KpeMHHa c co6cTBeHHoft npoBogHMocra // 
nPHEOPEI. 2018. N° 11. (211). C.40-42.
7. M.K. EaxagnpxaHoB, C.E. HcaMoB, E.K. HcMaftnoB. Ee3^p03H0HHaa 
TexHonorna nernpoBaHHa KpeMHHa cepofin noBbimeHHe K
0
H^eHTpa^HH ee 
^^eKTpoaKTHBHMx aT
0
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B // nPHEOPEI. 2019. N° 4 (226). C.26-28.