Rivojlanish vazirligi

GALLIY VA SURMA ATOMLARI BILAN KETMA-KET
LEGIRLANGAN KREMNIYNING OPTIK XOSSALARI
X. M. Iliyev, B. O. Isakov, Sh. I. Hamroqulov,
Sh. Subxonberdiyev, M. X. Madjitov.
Toshkent davlat texnika universiteti, O ’zbekiston Respublikasi,
Toshkent sh. Universitet ko ’chasi 2-uy, bobir. isakov@tdtu. uz
Mikroelektronikaning rivojlanishida kremniyga kirishma atomlarining diffuziyasi 
katta rol o’ynagan [1-3]. Hozirgi vaqtga kelib diffuziya usuli bilan kremniyda 
kirishma atomlarining nanoklasterlari olinib, ular ta’sirida bir qancha yangi fizik 
xodisalar ham kashf qilindi [4-7].
Biroq bir vaqtning o’zida turli xil kirishma atomlarini kremniyga kiritilganda 
uning xossalarida bo’ladigan o’zgarishlar yetarlicha o’rganilmagan. Xususan Ga va 
Sb atomlarini binar birikma ko’rinishida kremniy asosiy parametrlariga ta ’sirini 
o’rganish ham ilmiy ham amaliy ahamiyatga ega. Ushbu ishda Ga va Sb atomlarini 
ketma-ket diffuziya qilish bilan olingan namunalarning optik xossalari (Furye 
infraqizil 
spektrometri 
0CM-1202 
spektrning 
infraqizil 
diapozonidagi 
yutilishlarini) o’rganildi.