Reja: Bipolar tranzistorlar asosidagi integral mikrosxemalarni tayyorlash



Download 0,54 Mb.
bet6/13
Sana05.04.2022
Hajmi0,54 Mb.
#530685
1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   13
Bog'liq
Reja I. Kirish II. Asosiy qism

Anizotrop yemirish bilan, masalan, mikrosxemalar tayyorlashda (elementlami bir-biridan dielektrik bilan izolatsiyalashda) dielektrik qatlam o‘stiriluvchi «chuqurcha»lar hosil qilinadi.
Fotolitografiya. Yarimo‘tkazgich plastinadagi metall yoki dielektrik pardalar sirtida ma’lum shakldagi lokal sohalami hosil qilish jarayoni fotolitografiya deb ataladi. Ushbu sohalar kimyoviy yemirishdan himoyalangan bo‘lishi shart. Fotolitografiya jarayonida ultrabinafsha nur ta’sirida o‘z xususiyatlarini o‘zgartiruvchi, fotorezist deb ataluvchi, maxsus moddalar ishlatiladi.
Fotorezist oksidlangan kremniy plastinasi sirtiga surtiladi va kvars
shisha niqob orqali yoritiladi. Niqoblar shafFof va shaffof emas sohalarga ega bo‘lgani uchun fotorezistning ma’lum sohalariga yorug‘lik (ultrabinafsha nur) ta’sir etib, uning xususiyati o‘zgartiriladi. Bunday niqoblar fotoshablonlar deb ataladi. Fotorezist turiga bogiiq holda uning eruvchanligi ortishi (pozitiv fotorezist) yoki kamayishi (negativ fotorezist) mumkin. Pozitiv fotorezist qatlam yorug‘lik nuri
ta’sirida nobarqaror holatga o‘tadi va erituvchi ta’sirida eriydigan, negativ fotorezist esa - aksincha, yorug‘lik ta’sirida erimaydigan bo‘lib qoladi, uning yorug‘lik ta’siridan himoyalangan sohalari eriydi. Shunday qilib, fotorezist qatlamdan fotoshablondagi shaklni takrorlovchi himoyalovchi niqob hosil qilinadi. Fotorezist qatlamda hosil qilingan «darcha»lar orqali oksidlangan yarimo‘tkazgichning himoyalanmagan sohalariga kimyoviy ishlov beriladi (yemiriladi).
IMS tayyorlashda fotolitografiya jarayonidan bir necha marta (5-=-7
marta) foydalaniladi (negiz qatlamlar, emitterlar, omik kontaktlar hosil
qilishda va x.z.). Bunda har gal o‘ziga xos «rasm»li fotoshablonlar ishlatiladi.
Oltita EREga ega IMS hosil qilishda fotolitografiya jarayonining
ketma-ketligi 7.1-rasmda ko‘rsatilgan.

Download 0,54 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   13




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish