Raqamli mikrosxemalar qo‘llanilgan qurilmalar mikrosxemalar. Integral mikrosxemalar qanday yasaladi va mikrosxemalar qanday materiallardan yasalgan?



Download 0,9 Mb.
bet7/20
Sana21.09.2021
Hajmi0,9 Mb.
#180828
1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   ...   20
Bog'liq
25. Raqamli mikrosxemalar qo‘llanilgan qurilmalar

QADAM 3. FOTOREZISTNI QO'LLASH

Kremniy substrat kremniy dioksidning himoya plyonkasi bilan qoplangandan so'ng, ushbu filmni keyingi ishlov beriladigan joylardan olib tashlash kerak. Film plyonkali ishlov berish yo'li bilan olib tashlanadi va qolgan joylarni kuyishdan himoya qilish uchun gofret yuzasiga fotorezist deb nomlangan qatlam qo'llaniladi. "Fotorezistlar" atamasi yorug'likka sezgir va tajovuzkor omillarga chidamli kompozitsiyalarni bildiradi. Amaldagi kompozitsiyalar, bir tomondan, ba'zi fotografik xususiyatlarga ega bo'lishi kerak (ultrabinafsha nurlari ta'siri ostida, ular eriydi va yuvinish jarayonida yuviladi), boshqa tomondan, rezistent bo'lib, ularga kislotalar va gidroksidi, isitish va boshqalar. Fotorezistlarning asosiy maqsadi - kerakli konfiguratsiyaning himoya relyefini yaratish.

Процесс нанесения фоторезиста и его дальнейшее облучение ультрафиолетом по заданному рисунку называется фотолитографией и включает следующие основные операции: формирование слоя фоторезиста (обработка подложки, нанесение, сушка), формирование защитного рельефа (экспонирование, проявление, сушка) и передача изображения на подложку (травление, напыление va hokazo.).

Fotorezist qatlamni (3-rasm) substratga qo'llashdan oldin, ikkinchisi oldindan ishlov beriladi, bu uning fotorezist qatlamga yopishishini yaxshilaydi. Bir tekis fotorezist qatlamini qo'llash uchun santrifüjlash usuli qo'llaniladi. Substrat aylanadigan diskka (santrifüj) joylashtiriladi va markazdan qochiruvchi kuchlar ta'sirida fotorezist substrat yuzasida deyarli bir xil qatlamda taqsimlanadi. (Amalda bir xil qatlam haqida gapirganda, markazdan qochiruvchi kuchlar ta'sirida hosil bo'lgan plyonkaning qalinligi markazdan qirralarga ko'payishini hisobga olish kerak; ammo fotorezistni qo'llashning bunday usuli qatlam qalinligidagi o'zgarishlarga ± 10% gacha bardosh bering.)




Download 0,9 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   ...   20




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish