С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

1.3-§ Турт зондли усул
Яримутказгичли намуналарнинг солиштирма к,арши- 
ликларини улчаш усулларидан бир к,анча афзалликларга 
эга булган 4-зондли усул кенг кулланилади. Булга улчаш 
(метерологик) курсаткичининг юк,орилигини, улчаш учун 
намуналарга Ом контактларини олиш талаб этилмасли- 
гини, бир томони ясси текисликдан иборат шакли ва 
улчамлари \ар хил булган \ажмий яримутказгич намуна- 
ларини хамда куп к,аватли структураларда эпитаксиал, 
диффузион катлам солиштирма к,аршиликларини улчаш 
мумкинлигини курсатиш мумкин. Бу усул билан х,ажмий 
монскристалларда, пластинка (тахтасимон) намуналари­
да солиштирма каршиликни 104-г103 Ом-см ораликда, 
эпитаксиал, диффузион сирт каршилигини 1 -г-5 • 10s Ом 
ораликда улчаш мумкин.
Турт зондли усулнинг бир куриниши 1,9-расмда курса- 
тилган. Бир томони ясси текис сирт билан чегараланган 
ярим чексиз намунанинг сиртига бир чизикда жойлаш­
ган туртга учи ингичкалаштирилган металл электродлар 
(зондлар) жойлаштирилган. Икки четки зонддан ток угка- 
зилади ва икки урта зондлардан кучланиш (зондлар ора­
сидаги потенциаллар айирмаси) улчанади. Бу икки кат- 
талик — ток ва кучланиш оркали солиштирма каршилик 
аникланади. Усул назарияси Вальдес томонидан 1954 
йилда яратилган булиб, яримутказгич ва зондни кичик 
юзаси билан контактлашган нукдасидан токнинг яримут- 
казгичда таркалишига асосланган.
20

---

а)
гхЕр—GHj'h
г в
1
г
Т П 7т 77777777
1.9-расм. Яримчексиз намуналарда солиштирма каршиликни турт 
зондли усул билан улчаш схемаси (я), нуктавий зонд модели (б).
Солиштирма каршилик р  ни ток (1) ва кучланиш (С/) 
билан богланган ифодасини топиш учун ярим чексиз 
(улчамлари зондлар орасидаги масофа S дан жуда катта, 
(a, b, d > £ ) намунанинг ясси сирти билан контактлаш- 
ган алохида олинган нуктавий зонд чегарасидан ярим- 
утказгичга ток таркалиш масаласини ечиш керак (1.96- 
расм). Ярим чексиз намуналарда нуктавий контактлаш- 
ган зонд билан яримутказгич чегарасидан таркалаётган 
ток, потециал таксимоти сферик симметрияга эга була­
ди. Бу кол учун Ом конуни
„
1 dtp
j = o E = --- - -
р d r
(1.19)
ва ток зичлигининг
j ( r ) =
— у  
2л г
(
1
.
20
)
ифодаларидан фойдаланиб, намунада потенциал такеим- 
ланишини топамиз:
(
1
.
21
)
бу ерда, Л-узгармас катталик.
21

---

Потенциал ишораси ток йуналиши билан аникдана- 
ди, исталган нуктадаги потенциал хар бир ток зондлари- 
нинг хосил к,илган потенциалларининг йигиндисидан 
иборат. Намунага кираётган токнинг хосил килган по­
тенциали мусбат, чикаётган токнинг хосил килган по­
тенциали эса манфий булади. Демак, улчов зондларининг 
конта ктл ар ид аги 2 ва 3 потенциаллари 1 ва 4 зондлар 
хосил килган потенциаллар йигиндисига тенг. Ток йуна- 
лишини, яъни 1 ва 4 ток манбалари хосил килган потен­
циаллар ишораларини назарда тутганда 2 ва 3 нукгалар- 
даги потенциаллар ифодаси (1.21) га кура куйидаги кури- 
нишни олади:
+ 
А