Электростатика

интегральную 
криотронику на тонкопленочных сверхпроводниковых эле-
ментах со слабой связью
. В целом же интегральная криоэлек-
троника, базируясь на достижениях технологии современной 
микроэлектроники, включает более широкий круг проблем, без 
решения которых невозможно создать приборы, работающие 
при криогенных температурах и пригодные для серийного про-
изводства и постоянной эксплуатации. Дело в том, что крио-
электроника в отличие от полупроводниковой микроэлектрони-
ки опирается на новые физические явления, такие как: сверх-
проводимость, эффекты Джозефсона, явления в узкозонных по-
лупроводниках, полуметаллах, параэлектриках и др., прояв-
ляющиеся только при охлаждении и не реализованные ранее. 
При этом криоэлектронный микроприбор или интегральная 
криоэлектронная схема может представлять собой симбиоз ох-
лаждаемой электронной схемы и охладителя (газового, элек-
тронного либо радиационного). Развитие интегральной крио-
электроники, как и развитие всей микроэлектроники, знаменует 
собой новый этап в электронной технике. Внедрение криоэлек-
тронных приборов в народное хозяйство, в технику связи и те-
левидение, вычислительную, радиолокационную технику и 
приборостроение не только позволяет в больших системах 
уменьшить габариты, массу и стоимость аппаратуры при увели-
чении ее надежности, но и приведет к коренному улучшению 
электрических параметров этой аппаратуры. Как видно из при-
веденных материалов, уровень охлаждения в основном опреде-

---

235 
ляет параметры и область применения криоэлектронных прибо-
ров. Приборы азотного уровня охлаждения, самые дешевые и 
легкие, могут все шире применяться в массовой мобильной ап-
паратуре, а приборы гелиевого уровня охлаждения, энергопо-
требление которых в 25 - 70 раз больше, находят применение в 
стационарных, тяжелых объектах или там, где уже есть жидкий 
гелий. При этом электрические параметры приборов гелиевого 
уровня, в которых могут использоваться сверхпроводники, бу-
дут значительно лучше параметров приборов других уровней 
охлаждения, где сверхпроводники применить не удается. Гра-
ницы применения криоэлектронных изделий трудно устано-
вить, но совершенно очевидно, что расширение и углубление 
научных, конструкторских и технологических работ в области 
криоэлектроники вообще и, в частности,