Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълим вазирлиги заҳириддин муҳаммад бобур номидаги

Литература
: 
1.
Ng K.K., Polito W.J., Ligenza J.R. Brawth kinetics of thin SiO
2
in a 
controlled antbient oxidation. J. appl.phyz. Lett. V.44, 
№6, 1984
.
СПРЕЙ ПИРОЛИЗ УСУЛИ БИЛАН ЎСТИРИЛГАН SNO
2
 
МЕТАЛЛООКСИД ЮПҚА ҚАТЛАМИНИНГ ТУЗИЛМАВИЙ 
ХУСУСИЯТЛАРИ
 
Ҳ.Ж. Мансуров 
- 
доцент, А. Ю. Бобоев 
- 
докторант, Х.А. Махмудов. 
 
Андижон давлат университети 
 
Аннотация: Тузилмавий тадқиқотларни ўтказишда эришилган 
экспериментал натижалар ва уларнинг назарий ҳисоблашлар асосида 
кремний тагликларига ўстирилган SnO
2
 
юпқа қатламининг тузилмаси F3m 
фазовий гуруҳга тегишли бўлган кубик панжарага мос келиши аниқланди 
ҳамда пленка кристалл панжара қийматлари мос равишда а = 6.238 Å га 
тенглиги аниқланди.
Калит сўзлар: спрей пиролиз, қалай хлорид, индий, рутил, 
металлооксид. 
SnO
2
металлооксид юпқа қатламининг
ўстиришда спрей пиролиз 
технологиясидан фойдаланилди 
[1]
. SnО
2
юпқа қатлами 125 мл изопропил 
спиртли аралашмасидан олинган. SnО
2 
пленкасини синтез қилиш учун 
прекурсор сифатида 0,5 М моляр консентрацияли қалай хлорид дигидрат 
[SnCl
2
·2H
2
О] тузидан фойдаланилади. Биринчидан, бу аралашма оқ рангга 
эга бўлади, сўнгра IКА RH basis 2 магнит аралаштиргич ёрдамида 80 °Cли 
ҳароратда 60 дақиқа вақт мобайнида эритма рангини тўлиқ шаффофга 
рангга ўтгунича аралаштирилди. SnО
2
:Sb пленкасини ҳосил қилиш учун 
81 

---

киришма сифатида сурма [SbОCl
2
: HCl] ёки [SbCl
3
] шаклидаги хлорли 
сурма ишлатилади. SnО
2
аралашмасига SbCl
3
нинг киритилиши индийли 
(IТО) плёнкалари ўрнини босадиган кичик қаршиликли шаффоф 
(SnО
2
:Sn
2
О
3
) пленкаларни олиш имконини беради. Натижада, қалай 
хлориднинг иккита шаффоф эритмаси тайёрланди: ҳар хил таркибли 
(1,2,4%) сурма хлориднинг миқдори 125 мл бўлган, прекурсорларнинг 0,5 
М моляр консентрацияли легирланган ҳамда легирланмаган эритмалари 
тайёрланди. Бу эритмалар хона ҳароратида 168 соат вақт давомида 
қуритилади, қуриш жараёнида эритмалар рангини аввал шаффофдан 
оқгача, кейин сариқ рангга ўзгартирилади. Ойна тагликлар ултратовушли 
ваннада дистилланган сув ва изопропил спирти билан тозаланади.
Юпқа металлооксид SnO
2
қатламларининг тузилмавий хусусиятлари 
ХРД
-
6100 рентген дифроктометри ёрдамида тадқиқ қилинди. Бу ҳолатда 
рентген найчасига берилган кучланиш қиймати 
– 
40,0 кВ, ток кучи кучи 
қиймати 
– 
30,0 мА, сканерлаш диапазони 
– 8,0-
90, тезлиги 2 град/мин, 
танлаб олинган қадами 0.02 градус. Олинган дифракцион натижалари 
Ритвелд усули билан Фуллпроф дастуридан фойдаланиб ҳисобланди.1
- 
расмда юқорида спрей пиролиз технологияси асосида олинган SnO
2
металлооксид юпқа қатламларини рентгенограммаси келтирилган. 
Дифракцион расмда турли кристаллографик йўналишга эга бўлган 
тузилмавий аксланишлар намоён бўлиши таглик сиртида SnO
2 
қатлам
монокристаллни жуда яхши даражада ўсганлигини кўрсатади ва уларни 
рутил турдаги тетрагонал фазасига тегишли бўлган кристалл панжарани 
эга эканлигини кўрсатади. Бу эса юпқа қатлам спрей пиролиз усулида 
ҳосил қилиниши билан жуда қисқа муддатда кристалланганлигини 
билдиради. 
20
30
40
50
60
70
80
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
In
te
ns
iv
ity
2
θ
82 

---

1-
расмдан d/n=0.3333 нмли текисликлар оралиғида юқори (5·10
3
имп/с
-
1
) интенсивликка эга бўлган асосий аксланиш кўриш мумкин, бу эса ўз 
навбатида ўстирилга юпқа қатламнинг сирти (110) кристоллографик 
текисликка мос келишини билдиради. Бундай тажрибавий натижаларни 
Фулфроф дастури ёрдамида таҳлил қилинганда, SnO
2
юпқа
қатламининг 
тузилмаси F3m фазовий гуруҳга тегишли бўлган кубик панжарага мос 
келиши аниқланди. Шунингдек Нелсон
-
Рейли[2] экстрополяцион 
функцияси ёрдамида SnO
2
юпқа қатлам кубик панжаранинг доимийси (110) 
рефлекслар орқали ҳисоблар, у 6.238 Å эканлигини аниқланди. SnO
2
юпқа 
қатламининг Шеляков
-
Шерер[2] ифодаси ёрдамида дифракцион тасвирда 
юзага келган аксланишларнинг экспериментал натижалари асосида SnO
2
юпқа қатлам сиртида ва ҳажмида ўз
-
ўзидан шаклланаётган 
субкристаллитларнинг (блокларнинг) ўртача қиймати 53 нм тенг эканлиги 
аниқланди. Бу ерда, 
k 
= 0.94 – 
бирликсиз қийматига эга бўлган доимий, D 
- 
cубкристаллитлар (блоклар) ўлчами, λ
= 1,5406 Å– 
рентген нурлари тўлқин 
узунлиги, ω
- 
асосий аксланишнинг ярим кенглиги (FWHМ), рад, ва 
θ
– 
Вулф
-
Брег дифракцияси бурчаги. 
Тузилмавий тадқиқотлрарни ўтказишда эришилган экспериментал 
натижалар ва уларнинг назарий ҳисоблашлар асосида кремний 
тагликларига ўстирилган ZnО 
SnO
2
юпқа қатламининг тузилмаси F3m 
фазовий гуруҳга тегишли бўлган кубик панжарага мос келиши аниқланди
ҳамда
пленка кристалл панжара қийматлари мос равишда 
а
= 6.238 Å 
га 
тенглиги аниқланди.
Дифракцион тасвирда юзага келган аксланишларнинг экспериментал 
натижалари асосида SnO
2
юпқа қатлам сиртида ва ҳажмида ўз
-
ўзидан 
шаклланаётган субкристаллитларнинг
(блокларнинг) ўртача қиймати 53 нм 
тенг эканлиги аниқланди.