Яримўтказгичли моддаларни суюк фазадан эпитаксиал ўстириш усуллари

---

Мундарижа 
Кириш. ..............................................................
1-Боб.
Яримўтказгичли моддаларни суюк фазадан эпитаксиал ўстириш усуллари.
1- §. Эпитаксиал катламлар устирищ тўғрисида маълумотлар.
2- §. §. Суюк фазадан эпитаксиал катламлар устирищнинг узига хос тамонлари.
3- §. C
IV
гурух яримутказгичлари ва A
III
B
V 
гурух яримутказгич бирикмалари 
уртасида каттик коришма хосил булиши назарияси ва шартлари.
II Боб. 
Суюк фазадан (Si
2
)
1-Х
(GaP)
Х
каттик коришма катламини кремний 
тагликка устириш технологиясининг асосий боскичлари 
1 -§. (Si
2
)
1-Х
(GaP)
Х
каттик коришма катламини кремний тагликка
устириш курилмасини ишга тайёрлаш. 
2- §. Суюк фазадан Si
2
)
1-Х
(GaP)
Х
каттик коришма катламини устириш 
учун кремний тагликларни тайёрлащ.
3- §. Суюк фазадан Si
2
)
1-Х
(GaP)
Х
каттик коришма катламини устириш 
курилмасида устириш жараенларини амалга ошириш 
III Боб. 
Суюқ фазадан ўстирилган (Si
2
)
1-Х
(GaP)
Х
каттик коришма қатламларининг
кимёвий таркиби, марфологик ва электрофизик хусусиятларини урганиш
1 §. Устирилган эпитаксиал (Si
2
)
1-Х
(GaP)
Х
каттик коришма қатламларининг
кимёвий таркибини урганиш 
2 §. Устирилган эпитаксиал (Si
2
)
1-Х
(GaP)
Х
каттик коришма қатламларининг
морфологиясини урганиш. 
3§. Устирилган эпитаксиал (Si
2
)
1-Х
(GaP)
Х
каттик коришма қатламларининг 
электрофизик хусусиятларини урганиш .........................
ХУЛОСА ………….

---