Контрольные вопросы по предмету
Основы физической электроники
Модул-1
1. Конструкция и принцип работы
механического насоса, основные
преимущества и недостатки механических насосов.
2. Конструкция и принцип работы
геттеро-ионного насоса, основные
преимущества и недостатки сорбционных насосов насосов.
3. Конструкция и принцип работы
магниторазрядного насоса,
основные преимущества и недостатки магниторазрядных насосов.
4. Основные характеристики вакуумных насосов. Получение низкого
вакуума.
5. Последовательность получения высокого вакуума. Методы
устранения микротечи в экспериментальных установках. Масс-
спектрометрический метод.