Tranzistorlar

Diffuzion planar tranzistorlar. 

Bu ko‟rinishdagi tranzistorlarni tayyorlash 

kremniy  oksidini  olib,  unda  ochilgan  parada    tirqishlar  orqali  kirishma 

atomlarining  diffuziya  usulida  foydalaniladi.  Texnologik  amallar  ketma-ketligi      

3-rasmda ko‟rsatilgan.  

---

 

3-rasm. Diffuzion planar tranzistorning olininshi 

 

Planar  tranzistorni  tayyorlash  uchun  n-turdagi  kremniy  olinib  nihoyasida 

kollektor  vazifasini  o‟taydigan  plastinka  oldin  suv  bug‟i  yoki  kislorod    muhitiga 

joylashtirilib  sirtida  zich  parda  Si  O

2 

hosil  qiladi.  3-rasm      a)  Fotolitografiya 

usulida    parda    tirqish,  3-rasm,  b)  hosil  qilinib    u  orqali  akseptor  bor  diffuziya 

qilinadi.  3-rasm    v)  Bunda  plastinkaga  p-tur  baza  qatlami  hosil  bo‟ladi.  Shu 

jarayon  vaqtni  o‟zida  oksidlanish  yuz  beradi.Hosil  bo‟lgan  oksid  pardadan  yana 

tirqish  3-rasm,  g)ochilib  u  orqali  pardadan  donor-fosfor  kamroq  chuqurlikka 

diffuziya  qilinadi.  Natijada  “n”  Qturdagi  emitter  qatlam  hosil  bo‟ladi.3-rasm,d) 

Keyin  yana  hosil  bo‟lgan  Si  O

2 

qatlam  hosil  bo‟ladi  va  yediriladi.3-rasm,  e) 

Kontaktlar purkaladi va termobosim usulida chiqqichlar ulanadi.3-rasm, j) nihoyat, 

diffusion  –planar  transistor  tuzilmasining  umumiy  ko‟rinishi  4-rasmda 

ko‟rsatilgan.  

---