Т. В. Свистова основы микроэлектроники учебное пособие

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК 
 
1. Аваев, Н. А. Основы микроэлектроники [Текст]: учеб. 
пособ. для вузов / Н. А. Аваев, Ю. Е. Наумов, В. Т. Фролкин. - 
М.: Радио и связь, 1991. - 288 с. 
2. Ефимов, И. Е. Микроэлектроника. Проектирование, 
виды микросхем, функциональная электроника [Текст]: учеб. 
пособие / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - М.: 
Высш. шк., 1987. - 416 с. 
3. Жеребцов, И. П. Основы электроники [Текст]: учеб. 
пособие / И. П. Жеребцов. - Л.: Энергоатомиздат, 1989. - 352 с. 
4. Коваленко, А. А. Основы микроэлектроники [Текст]: 
учеб. пособие / А. А. Коваленко, М. Д.
Петропавловский. 
- 
М.: 
Академия, 2006. - 240 с. 
5. Маллер, Р. Элементы интегральных схем [Текст] / Р. 
Маллер, Т. Кейминс. - М.: Мир, 1989. - 630 с. 
6. Прянишников, В. А. Электроника: полный курс лекций 
[Текст]: учеб. для вузов / В. А. Прянишников. - СПб.: Корона-
Принт, 2004. - 416 с. 
7. Росадо, Л. Физическая электроника и микроэлектрони-
ка [Текст] / Л. Росадо. - М.: Высш. шк., 1991. - 351 с. 
8. Светцов В. И. Физическая электроника и электронные 
приборы [Текст]: учеб. пособие / В. И. Светцов, И. В. Холод-
ков. - Иваново, 2008. - 494 с. 
9. Степаненко, И. П. Основы микроэлектроники [Текст]: 
учеб. пособие для вузов / И. П. Степаненко. - М.: Лаборатория 
базовых знаний, 2000. - 488 с. 
10. Хэйер, Дж. Полупроводниковые технологии в Евро-
пе. Пути развития [Текст]/ Дж. Хэйер, А. Пятиренко // ЭЛЕК-
ТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. - 2010. - Вып. 6. - С. 
126 - 128. 
11. Щука, А. А. Электроника [Текст]: учеб. пособие / А. 
А. Щука; под ред. А. С. Ситова. - СПб: БХВ-Петербург, 2005. - 
800 с. 

---

146
ОГЛАВЛЕНИЕ 
 
Введение 
3 
1. Основные принципы и понятия
микроэлектроники 
5 
1.1. Основные термины и определения 
5 
1.2. Интегральные микросхемы (ИМС) и их
классификация. Серии ИМС 
11 
1.3. Система обозначений ИМС 
21 
2. Активные элементы интегральных микросхем 
27 
2.1. Методы изоляции элементов 
28 
2.2. Интегральные транзисторы
36 
2.3. Интегральные диоды
43 
2.4.
Транзисторные структуры специального 
назначения
49 
2.5. Элементы полупроводниковых постоянных 
запоминающих устройств (ПЗУ) 
58 
2.5.1. МНОП-транзистор 
59 
2.5.2. МДП-транзистор с плавающим
затвором 
61 
2.5.3. Двухзатворный МДП-транзистор 
62 
2.6. Приборы с зарядовой связью 
64 
3. Пассивные элементы интегральных схем
72 
3.1. Интегральные резисторы 
72 
3.2. Интегральные конде
нсаторы
и индуктивности 
77 
3.3. Коммутационные соединения 
83 
4. Современные тенденции в развитии
микроэлектроники 
88 
4.1. Закон Мура как основа оценки темпа
развития микроэлектронных технологий 
89 
4.2. Развитие технологий «Больше Мура» 
4.3. Развитие технологий «Больше, чем Мур» 
104 
111 
4.4. Направленность «За пределами КМОП» 
114 
5. ИМС диапазона СВЧ 
115 

---

147
5.1. Элементная база электроники СВЧ 
117 
5.2. Интегральные транзисторы СВЧ-диапазона 
121 
5.3. Монолитные арсенид-галлиевые ИС 
124 
6. Гетероструктуры в современной
микроэлектронике 
127 
6.1. Основные свойства гетероперехода 
6.1.1. Сверхинжекция неравновесных 
носителей заряда в гетеропереходе 
127 
129 
6.1.2. Понятие о двухмерном электронном
газе 
130 
6.2. Гетероструктурные полевые транзисторы 
132 
6.2.1. Транзистор с высокой подвижностью
электронов 
132 
6.2.2. Псевдоморфные и метаморфные
структуры (р-НЕТ и m-НЕТ) 
134 
6.2.3. НЕМТ на подложках из GaN 
137 
6.3. Гетеропереходные биполярные транзисторы 
138 
6.4. Интегральные микросхемы
на гетеропереходных полевых транзисторах 
140 
Заключение
143 
Библиографический список 
145 

---

148
Учебное издание 
Свистова Тамара Витальевна 
ОСНОВЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
В авторской редакции 
Подписано к изданию 30.10.2017. 
Объем данных 2,6 Мб. 
ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический 
университет» 
394026 Воронеж, Московский просп., 14