Samarqand davlat universiteti fizika fakulteti

1.2. Rezistiv va induksion bugʻlatkichlar. 

Yupqa  qatlamlarni  boʻshliqda  termik  bugʻlatish  termik  bugʻlatish  yoʻli 

bilan  olinganda  rezistiv  yoki  elektronlar  dastasi  yordamida  qizdiradigan 

bugʻlatkichlardan foydalaniladi. Bu usulni amalga oshirish uchun maxsus boʻshliq 

(vakuum) qurilmalari yaratilgan. 

Bu  turdagi  qurilmalarda  bugʻlanayotgan  sirtga  issiqlik  energiyasi  tigel 

devorchasi  yoki  volfram  spirali  orqali  beriladi,  bunda  bugʻlanuvchi  modda  uning 

ichiga yoki sirtiga joylashtiriladi. 

Yetarli  bugʻ  bosimini  olish  uchun  bugʻlatkichda  kerakli  haroratni  ushlab 

turish  kerak.  Zamonaviy  texnologiyada  qatlam  oʻstirish  tezliklariga  boʻlgan 

talablar  juda  katta  oraliq  (diapozon)  ni  (1  /s  dan  kichik  qiymatdan,  1000    /s 

gacha) oʻz ichiga oladi. 

Olinayotgan 

qatlamlar 

ifloslanishining 

oldini 

olish 

uchun 

bugʻlatkichlarning  moddasi  ishlash  haroratida  (koʻp  ishlatiladigan  materiallar 

uchun  1000÷2000 

0

C  oraligʻida  juda  kichik  bugʻ  va  dissotsiatsiya  bosimiga  ega 

boʻlishi  kerak,  yana  u  bugʻlanayotgan  modda  bilan  reaksiyaga  kirishmasligi  va 

qotishma  hosil  qilmasligi  kerak.  1.1-jadvalda  qatlamlar  hosil  qilishda  koʻp 

ishlatiladigan  elementlarni  bugʻlatishga  moʻljallangan  bugʻlatkich  materiallar 

haqida  ma’lumotlar  berilgan.  Rezistiv  bugʻlatkichlar  bugʻlanayotgan  moddaning 

yetarli  haroratgacha  qizishini  ta’minlab  beradilar.  Bu  harorat  qatlam  hosil 

qilishning  istalgan  tezligini  olish  uchun  bugʻlanayotgan  moddaning 

muvozanatlashgan  miqdordagi  bugʻ  bosimiga  ega  boʻlishi  zarurligi  bilan 

aniqlanadi [2]. 

---

18