O’zbekiston respublikasi

VII BOB. NANOELEKTRONIKA 
 
7.1. Nanoelektronikani rivojlanish bosqichlari 
 
Nanotehnalogiya  –  bu  moddalar    bilan  ishlashdan    alohida  atomlarni 
boshqarishga  o‘tishi:    nanoo‘lchamda  moddani    ko‘plab  mehanik,  termodinamik  , 
magnit va elektrik harakteriskalari holati o‘zgarib ketadi. Masalan , oltin nanozarralari 
hajmiy  oltin  zarralaridan  katalitik,  feromagnitik,  to‘g‘rilovchi
 
optik  hossalari, 
o‘ziyig‘ilishga qodirligi bilan farq qiladi.
 
Ular yorug‘likni yahshi yutadi va sochadi, zaharsiz, kimyoviy stabil, biyomoskeluchi. 
Ularning  intensiv  bo‘yashda(tovlanish)  hozirda  dedektirlash
 
uchun, vizualiyashgan
 
va  biyotibbiyot  obektlar  miqdorni  aniqlashda  foydalanilmoqda  [1-7].    Oltin 
nanozarralari  butun  boshli  asboblar    diyagnostika  vositalardan  tortib  har  hil  turdagi 
sensorlar,  optik  tolali  va  kampyuter  nanosxemalarini[8-9]  yaratishda  itiqbollidir. 
Ko‘rsatilgan hususiyatlar tufayli  oltin nanozarralari asosiy metodlari va tushunchalari 
bilan osson tushunarli  universal obekt  modili nanofanni tanishtirish uchun qulay rol 
o‘ynashi mumkin,  
Zamonaviy  texnik  tizimlar  va  vositalarni  boshqarish  hamda  fan  va 
texnikaning  rivojlanishi  elektronikaning  etakchi  tarmoqlaridan  biri  bo‘lgan 
mikroelektronika  hamda  endigina  paydo  bo‘layotgan  nanoelektronika  sohalarida 
faoliyat ko‘rsatadigan malakali mutaxacsislarni tayyorlash bilan uzviy bog‘liqdir. 
 Zamonaviy  elektronika  mahsulotlari  bo‘lmish  integral  mikrosxemalar, 
mikroprostessorlar, o‘ta yuqori chastotali detektorlar, quyosh elementlari, lazerlar, 
elektron  hisoblash  mashinalar  va  o‘ta  yuqori  xotirali  tizimlar  va  boshqa  noyob 
elektrik  asboblarni  yaratish  yangi  xususiyatga  ega  bo‘lgan  yupqa  va  o‘ta  yupqa 
ko‘p komponentli qatlamlar tizimlarini yaratishni taqozo qiladi. Shu boisdan ham 
keyingi  yillarda  yupqa  va  o‘ta  yupqa  qatlamlar  hosil  qilish  texnologiyasi  va 
fizikasiga bo‘lgan e‘tibor keskin ortib ketdi. 
Yupqa plyonkalar olish va ularning xususiyatlarini o‘rganish o‘tgan asrning 
70 yillardan boshlab qo‘llanilib kelinayotgan an‘anaviy usullari mavjud.  
Bu  usullar  bilan  olingan  plyonkalarning  qalinligi  asosan  bir  necha 
mikrondan  o‘nlab  mikrongacha  bo‘lib,  ular  qattiq  jismli  elektron  asbobsozlikda 
hozirgi  kunda  ham  muvaffaqiyatli  qo‘llanilib  kelmoqda.  Hozirgi  vaqtga  kelib 
yupqa (d

10
2

10
3
 nm) va o‘ta yupqa (d<100 nm) plyonkalar olishning zamonaviy 
molekulyar  nurli  epitaksiya(MNE),  qattiq  fazali  epitakstiya(QFE),  ionlar 
implatastiyasi  va  eng  zamonaviy  (nanoassembler)  usullari  orqali  hosil  qilish 
mumkin.  Zamonaviy  usullar  yordamida  asosan  plyonka  hosil  qilish  o‘ta  yuqori 
vakuum  sharoitda  olib  borilishi,  o‘ta  yaxshi  tozalangan  asos(taglik)lardan  va 
atom(molekula) manbalaridan foydalanilishi, plyonkalarning mukammalligi(yuqori 
darajada  tekisligi,  bir  jinsliligi,  silliqligi,  monokristalligi)  bilan  eski  (tradistion) 
usullaridan tubdan farq qiladi. 
Hozirgi 
paytda