O`zbekiston respublikasi oliy va o`rta-maxsus ta’lim vazirligi

O`ZBEKISTON RESPUBLIKASI OLIY VA O`RTA-MAXSUS TA’LIM VAZIRLIGI

O`ZBEKISTON RESPUBLIKASI OLIY VA O`RTA-MAXSUS TA’LIM VAZIRLIGI

MIRZO ULUG`BEK NOMIDAGI O`ZBEKISTON MILLIY UNIVERSITETI

FIZIKA FAKULTETI FOTONIKA KAFEDRASI

 

70530904 –Qayta tiklanuvchi energiya manbalari va barqaror atrof muhit fizikasi yo’nalishi magistranti

XOLMATOV ABDULAZIZNING

“Mikroelektron materiallarni buzmagan holda tekshirishning raqamli golografik diagnostika usullarini

tadqiq qilish”

Ilmiy rahbar:

f.-m.f.d., professor: Azamatov Z.T

Toshkent - 2022

Ishning maqsadi:
Tadqiqot predmeti va obyekti :
Tadqiqot metodlari:
Golografiyani o’rganish
Qurilmaning ishlash prinsipini o’rganish
Shirograf yordamida mexanik nuqsonlarni tez-tahlil qilish. Obyektga ko’rsatilgan kichik deformatsiyasini
kuzatish
Predmeti: turli xil materiyallardagi nuqsonlarni kontaktsiz o’rganishning golografik texnologiyalari va usullari.

Obyekti: Mikroelektron materiallari
Frenel biprizmasi va Maykelson interferometriyasi yordamida shirogrammalarni qayd qilish.

Golografiya
bu murakkab to’lqin jarayonlarini qayd qilish usuli. Bu to’lqinlar tovush to’lqinlari, radio yoki optik to’lqinlar bo’lishi mumkin
Raqamli golografiya
Gologramma
murakkab to’lqin jarayonlarni ПЗС matritsaga qayd qilinishi
Interferension manzara tushirilgan plastinka
tayanch va obyekt dastalari orqali hosil bo’lgan interferonsion manzara yoki tasvirni hosil qilishda raqamli qayd qilish metodiga aytiladi
Raqamli golografiya (Shirografiya)

Shirografiya metodi

Shirografiya usuli • Shirografiya yoki kesuvchi dog'lar interferometriyasi - nuqsonlarni aniqlash usullarining interferometrik buzilmaydigan sinov usullarining bir turi, uning yordamida tarkibiy qismlarning ichki shikastlanishi yoki nuqsonlari sirt deformatsiyalarini o'lchash va tahlil qilish orqali aniqlanishi mumkin. Deformatsiyalar ichki strukturaning ba'zi tashqi ahamiyatsiz yuklarga javobi sifatida shakllanadi. Yuklanmagan holatdagi ob'ektning ko'rsatilgan tasvirlarini yuklangan holatda olingan tasvir bilan birlashtirib, tasvirning istalgan berilgan nuqtasidagi o'zgarishlarni aniqlash mumkin. Tizim o'ta yuqori sezuvchanlikka ega (30 nanometrgacha!!!), bu sirt holatidagi submikron o'zgarishlarini aniqlash imkonini beradi. Shunday qilib, hatto komponentga nisbatan past tasir (masalan, cho'g'lanma bilan isitish) 1-2 soniya davomida chiroq yonib turishi) buzilmaydigan tekshirish paytida aniq o'lchov natijalariga olib keladi.

Qurilma obyekti
SSD Kamera
Lazer
Maykelson Interferometri