Нанотехнологии в производстве изделий электронной техники (раздел 3) Мигас Дмитрий Борисович



Download 6,68 Mb.
bet10/16
Sana25.02.2022
Hajmi6,68 Mb.
#285248
TuriПрезентация
1   ...   6   7   8   9   10   11   12   13   ...   16
Bog'liq
12 100229 1 111307

Самоорганизация при эпитаксии
  • Если сумма поверхностной энергии эпитаксиальной пленки и энергии границы раздела меньше, чем поверхностная энергия подложки, (осаждаемый материал смачивает под-ложку), имеет место послойный рост пленки в режиме Франка–Ван-дер-Мерве. При этом формируются однород-ные псевдоморфные и напряженные сверхрешетки. Этот режим пригоден также для создания самоорганизующихся квантовых шнуров на вицинальных поверхностях кристал-лов. Вицинальными (vicinal) называют поверхности, которые не являются равновесными для данного кристалла. Обычно это поверхности, слегка разориенти-рованные относительно основных низкоиндексных плоскостей кристалла – на практике чаще всего исполь-зуют разориентацию относительно (001) и (311) плоскостей.
  • Самоорганизация при эпитаксии
  • Формирование наноструктур на вицинальной поверхности
  • режим Франка Ван-дер-Мерве
  • Самоорганизация при эпитаксии
  • Формирование наноструктур на вицинальной поверхности Подготовленная вицинальная поверхность состоит из эквидис-тантно расположенных террас, плоскость которых совпадает с одной из низкоиндексных плоскостей кристалла. Высота каждой террасы – один моноатомный слой. Создание квантовых шнуров начинают с нанесения материала, из которого будет формиро-ваться шнур. Температуру подложки выбирают, чтобы обеспе-чить достаточную диффузионную подвижность атомов наноси-мого материала на поверхности подложки. Осажденным атомам энергетически более выгодно прикрепляться к ступеньке тер-расы. Количество наносимого материала на много меньше сплошного моноатомного слоя. Это необходимо для того, чтобы оставить место на террасе для заполнения материалом подложки, что и делается после прекращения подачи материала шнура. Нанесение материала подложки продолжают до полного восстановления террас, которые при этом становятся на один моноатомный слой толще. Нанесение материала шнура, а затем подложки повторяют несколько раз, обеспечивая, таким образом, создание квантового шнура, встроенного в подложку.
1   ...   6   7   8   9   10   11   12   13   ...   16




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish