Конспект лекцій з дисципліни «Формування структури та властивостей сучасних інстру ментальних матеріалів»

по-
слойное наращивание изделий реализуется методами CVD и PVD
.
Они 
позволяют в той или иной последовательности наращивать слои разной тол-
щины, разного функционального назначения и т.о. конструировать припо-
верхностную область изделия, обеспечивая его необходимыми свойствами. 
Методы физического осаждения из паровой фазы (PVD) обладают 
рядом 
преимуществ, основными из которых являются:

возможность получения равномерных слоев широкого диапазона толщин – от 1 
нм до 200 мкм; 

достаточно большой диапазон площадей подложки, на которую наносится 
покрытие; 

возможность нанесения покрытия на селективные (избирательные) 
участки подложки; 

широкое сочетание вариантов материалов подложка-покрытие; 

гибкость к требованиям по температуре подложки; 

возможность получения многослойных покрытий; 

изменение состава, структуры и свойств покрытия благодаря измене-
нию технологических параметров осаждения покрытия; 

экологическая чистота. 
PVD-
методы позволяют также более эффективно, по сравнению с ме-
тодами 1) и 2), управлять процессами получения покрытий с заданными 
свойствами, предупреждать образование геометрических, кристаллохимиче-
ских и физико-механических дефектов на поверхностных слоях изделия. 
Преимущества методов, которые относятся к третьей группе 
(РVD), а также их высокая степень управляемости делают данные тех-
нологии нанесения износостойких покрытий наиболее перспективными. 
PVD-
технологии синтеза покрытий получили широкое распростране-
ние в мировой практике производства благодаря своей универсальности, 
возможности синтеза покрытий разнообразного состава и конструкции в ши-
роком температурном диапазоне (100…1000°С). При низкой дефектности 
слоев возможна реализация «теоретической» прочности материала и получе-

---

56 
56 
ние покрытий, которые обеспечивают максимальное повышение эффектив-
ности и надежности изделий. 
Назначение и области применения 
PVD-
покрытий достаточно широки 
– от бытовой промышленности до машиностроения, авиации, космической 
промышленности.