Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний диоксид кремния

ГЛАВА 4. МИКРО- И НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ СИСТЕМЫ SIO
2
/SI 
ЭКСИМЕРНЫМ ЛАЗЕРОМ ................................................................................ 97
4.1. Микроструктурирование системы SiO
2
/Si пучком ArF лазера ................. 97
4.2. Вольт-амперные и воль-фарадные характеристики системы SiO
2
/Si, 
облученной ArF-лазером……………. ............................................................... 104
Выводы к главе 4 ................................................................................................. 107

---

4 
ГЛАВА 5.
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ЛАЗЕРНОГО 
МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ 
ПАРАМЕТРЫ МОП СТРУКТУР И ЭЛЕМЕНТЫ МОП ИС ......................... 108
5.1. Влияние лазерного микроструктурирования на электрофизические 
параметры МОП-структур……….. ................................................................... 108
5.1.1. Технология изготовления тестовых МОП-конденсаторов ............... 108
5.1.2.
Исследование высокочастотных вольт-фарадных характеристик 
тестовых МОП конденсаторов при точечном облучении........................... 110
5.1.3.
Исследование высокочастотных вольт-фарадных характеристик 
тестовых МОП конденсаторов после сканирования пучком ИИВЛ ......... 113
5.1.4. Влияние эффекта дальнодействия на ВФХ МОП-структур при 
точечном облучении ....................................................................................... 115
5.2. Влияние воздействия лазерного облучения на параметры элементов 
тестовой КМОП микросхемы типа К590КН6 .................................................. 117
5.2.1. Технологический процесс 590 серии .................................................. 117
5.2.2.
Особенности конструкции КМОП-пары транзистора ...................... 119 
5.2.3.
Влияние лазерного облучения на характеристики тестовых КМОП 
транзисторов, встроенных в кристаллы КМОП ИС 590 серии ................. 121
Выводы к главе 5 ................................................................................................. 129
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ ............................................................................................. 130
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ................................................................................................... 133
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ................................................................................... 134

---

5