I ntegral mikrosxemalar

nanoelektronika rivojlanmoqda, ya’ni elektron asbobsoslikda qalinliklari o’nlab nanometr (1 nm = 10^-9 m) bo’lgan plyonkalarni ishlatish ustida ishlar olib borilmoqda. Bunday plyonkalar ustma-ust, qatlama-qatlam qilib joylashtirilib aktiv va passiv elementlar hosil qilishda ishlatilishi mumkin. Fan va texnika rivojlanib uch o’lchamli tizimlar hosil qilinmoqda. Bunday tizimlarda 1 sm³ hajmda yuz minglab-millionlab yupqa plyonkali elementlarni joylashtirish mumkin. Ular asosida hosil qilingan integral sxemalar katta va o’ta kattaintegral mikrosxemalar debataladi.

Demak, kerakli maqsadlarda ishlatilishi mumkin bo’lgan yupqa qatlamlarni hosil qilish, ularning tarkibini, kristall va elektron tuzilishini, fizik va kimyoviy xususiyatlarini o’rganish fanning ahamiyatini belgilasa, olingan yupqa plyonkalarning asbob sifatida ishlatilishi uning xalq ho’jaligida va texnikada qo’llanilishini aks ettiradi.

B irinchi marta, keyinchalik nanotexnologiyalar deb atalgan metodlar haqidagi fikrni, g’oyani R. Feynmanning 1959 yilda Kaliforniya texnologiya institutida Amerika fiziklari jamiyatining har yillik uchrashuvida aytgan “Mening ko’rishimcha, fizikaning printsiplari yakka atomlar bilan ish ko’rishni ta’qiqlamaydi ”so’zlari bilan bog’laydilar. U nanotexnologiya tushunchasini atomlar va molekulalarni manupulyatsiyalash yo’li orqali aytilgan atomar tuzilishli mahsulotni ishlab chiqarish metodlarining majmuasi sifatida kiritdi.