I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

2.5-§.   Yarim o’tkazgich materiallariga kirishma atomlar kiritish usullari 
 
Yuqorida keltirilgandek, yarim o‘tkazgichlarning fizik xossalarini ya‘ni, ularni 
o‘tkazuvchanlik,  fotosezgirlik  va  magnit  hossalarini  juda  katta  ko‘lamda 
boshqarishning  asosiy  yo‘li  bu  bunday  materiallarga  kerakli  va  aniq  konsentratsiya 
miqdorida  kirishma  atomlar  kiritishdir.  Hozirgi  zamon  texnologiyasi  bo‘yicha 
kirishma atomlar 3 xil yo‘l bilan kiritiladi. Kristallarni o‘stirish jarayonida, diffuziya 
va ion implantatsiya usuli bilan.  
 
Monokristallarni  berilgan  yo‘nalish  bo‘yicha  o‘stirish  usullarini  eng 
asosiylaridan  biri  bu  Choxlar  usulidir.  Ushbu  usul  bilan  o‘stirilgan  kremniy 
monokristali  quydagi  ___  rasmda  keltirildi.Bunda  maxsus  kvars  tigillarda  yarim 
o‘tkazgich  materiallari  suyultirilgan  holda  bo‘lib,  bunday  suyuqlik  yuzasiga  aniq 

---

 
29 
yo‘nalishiga  ([111],  [110],  [101])  ega  bo‘lgan  ingichka  monokristall  (zatravka) 
tushuriladi.  Zatravka  suyuq  yarim  o‘tgazgichga  tekkanidan  so‘ng,  u  o‘z  o‘qida 
aylanish  bilan  birga  asta  sekin  (1’3  mm)  yuqoriga  minutiga  ko‘tarila  boshlaydi. 
Natijada o‘sha zatravka yo‘nalishiga mos holda, suyuq jism kristall holiga aylanadi.