Структура и электрические свойства тонких пленок (ZnO/SiO2)25



Download 0,88 Mb.
bet4/11
Sana24.02.2022
Hajmi0,88 Mb.
#227644
1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11
A

структуры

(см. вставку на рис. 1, a). Данный вывод




ZnO










(101)













(102)










подтверждается анализом микрофотографий ПЭМ попе-

500


































речного сечения тонких пленок (ZnO/SiO2)25 (рис. 1, b).


































Методом дифракции электронов были выявлены фазы

















































(002)Intensuty,counts

106






















аморфного SiO2, о чем свидетельствует наличие размы-




(ZnO/SiO2)25






















того гало на картинах электронной дифракции и кри-

3000




























HBL = 8.72 nm

10

6






















сталлического ZnO, что проявляется в виде дугообраз-













HBL = 8.98 nm











































(100)



















ных рефлексов (см. вставку на рис. 1, b). На основании

2000







106





































HBL = 8.72 nm




анализа микрофотографий высокого разрешения и кар-

Intensity,counts


























































тин электронной дифракции можно сделать вывод, что

1000
































































1

2

3

4

5

6

7

структура прослоек ZnO является нанокристаллической.























































2Q, deg











































Анализ картин электронной дифракции показал, что в

0











































15

20

25

30

35




40




45




50

55




слоях присутствуют кристаллиты двух ориентаций, опи-













2Q, deg






















сываемых соотношением (100)[001]

(110)[001], причем













(112)




(110)










B

оси

001

нанозерен ZnO ориентированы перпендику-




























лярно плоскостям слоев многослойной структуры. Надо























































(102)

(101)




(100)










отметить, что расположение слоев относительно плос-















































































кости подложки имеют некоторую разориентацию, что














































проявляется на электронной дифракции как размытие














































рефлексов.
















(002)

(001)



















Таким образом, структура тонких пленок (ZnO/SiO2)25



























































































представляет собой многослойную систему, в которой














































слои нанокристаллического ZnO разделены прослойка-














































ми аморфного SiO2, причем ZnO в слоях имеет сильную














































текстуру с осью 001 .


















































Download 0,88 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish