Handbook of Photovoltaic Science and Engineering

Figure 6.11
High resolution map of the specific resistivity (van-der-Pouw measurement tech-
nique) of a vertically cut wafer from a special high resistivity
p
-type multicrystalline silicon test
ingot. Owing to the increased oxygen content, the formation of thermal oxygen donors changes
the conductivity to
n
-type in the bottom part. The
pn
-junction can be identified by a remarkable
increase in the specific resistivity

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BULK MULTICRYSTALLINE SILICON
221
Like oxygen, carbon in multicrystalline silicon appears in concentrations consid-
erably higher than those of the boron dopant concentrations. Typical concentrations of
substitutional carbon are in the range of 2–6
×
10
17
/cm
3
generally increasing with increas-
ing block height. The incorporation of carbon into the silicon melt takes place via gaseous
CO formation inside the crystallisation chamber by SiO chemically reacting with the
graphite heaters. The main problem that is caused by an increased carbon concentration
is the formation of needle-shaped SiC crystals (often associated with oxygen and nitrogen,
see Figure 6.12) within the silicon material. SiC representing an electrically conductive
semiconductor material effectively shorts the solar cell
pn
-junction, thereby leading to
drastically reduced efficiencies. The problem of SiC formation, however, usually occurs
only in the uppermost region of the ingot that is anyway rejected because of segregation
of metallic impurities.
Despite oxygen and carbon being present in much higher concentrations, transi-
tion metals like iron or titanium are considered as much more important with regard to
solar cell efficiencies with the exception of the outer edges (width 5–10 mm) of an ingot
where in-diffusion from the Si
3
N
4
coating may occur and the top segregation region metal
point defects in high-quality multicrystalline silicon are present in concentration levels
below the detection limit of Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS) measurements,
10 
µ
m
XL30_07956
XL30_07955
Si
N
O
C
0.20 0.40 0.60 0.80 1.00 1.20 1.40 1.60 1.80 2.00 2.20 2.40 2.60