Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
164 
Накладные маски могут 
быть изготовлены за счет 
лазерной обработки полос 
из нержавеющей стали, 
никеля, молибдена и ряда 
других 
материалов 
толщиной до 0,4-0,8 мм.
В этом случае точность 
изготовления накладной 
маски может составлять 
±0,1 мм, но размер луча 
по 
проведенным 
измерениям не может 
быть менее 0,2-0,3 мм. С 
ростом 
толщины 
обрабатываемой полосы 
металла 
точность 
воспроизведения размера 
ухудшается. На рисунке 2 
представлены 
спроектированные для процесса лазерной абляции из стальной полосы 
накладные маски для формирования термочувствительного элемента на 
основе силицидов марганца. 
Формирование структуры термочувствительного элемента на основе 
силицида марганца включает следующие технологические операции: 
-очистка подложек из ситалла СТ-50-1 или слюды СТА в кислотном 
растворе; 
-промывка и сушка подложек при 150 
о
С в сушильном шкафу; 
-вакуумное осаждение через первую маску слоя силицида марганца 
импульсным лазерным распылением; 
-вакуумное осаждение через вторую маску слоя никеля термическим 
испарением из лодочки. 
Установлено, что созданы новые технологии формирования двухслойных 
покрытий толщиной до 1 мкм с топологическим рисунком на 
диэлектрических материалах. В целом проведенный комплекс работ 
позволил выявить условия и возможности практического осуществления 
эффективных технологий лазерного распыления и вакуумно-плазменной 
обработки различных материалов. 
Литература
1. G.E. Moore Lithography the future of Moore’s law. Proc. SPIE 1995, V.2440, 
p.2–17. 
 
Рис. 2. Спроектированные для лазерной абляции 
накладные маски термочувствительного элемента на 
основе силицидов марганца. 

---