Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
167 
 
Рис.2. а) Результаты рентгеновского энергодисперсионного 
микроанализа полученных на EDS (спектр 3). 
б) Топография поверхности образца кремния после легирования 
германии
Как показали энергеодисперционные результаты исследования на 
поверхности кремния создается тонкий слой, который показано в 
процентных соотношениях атомов материала. В нем концентрация кремния 
составляла -55,0%, германия -45% и эти данные подверждает о том, что в 
поверхностные слои кристалла кремния состоит почти на половину из 
атомов германия. Спектры поглощения образцов Gе
x
Si
1-x
, после диффузии 
германия в кремнии показанные на 
рис.3
, были определены на Фуре-
спектрометре ФСМ-1202, где в образцах Gе
x
Si
1-x
наблюдалось уменьшение 
пика поглощения кислорода на 10÷15%. 
Таким образом, было установлено, что с помощью разработанной
диффузионной технологии который позволяющий управлять глубины 
х 
900
950
1000
1050
1100
1150
1200
0
20
40
60
80
100
T,
(%)
k,sm
-1
2
1
Рис-3. Спектр поглощения образцов
 1) Исходный образец кремний КЭФ-100. 
2) Образец Gе
x
Si
1-x 
после диффузии германия в кремний
 
a) 
b) 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
168 
проникновения атомов германия в кремнии можно создать как гетеро, такие 
варизонные структуры на основе Ge
x
Si
1−
x
. На основании экспериментальных 
результатов было показано, что подвижность носителей заряда, а также 
спектр поглощения могут меняться относительно фундаментальных 
параметров кремния. Полученные результаты можно объяснить только 
образованием гетероваризонных структур Gе
x
Si
1-x 
и присутствием германия 
на поверхности кремния.