Физика-техника институти, ион-плазма ва лазер технологиялари институти, самарқанд давлат



Download 0,76 Mb.
Pdf ko'rish
bet6/36
Sana21.02.2022
Hajmi0,76 Mb.
#33812
1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   36
Bog'liq
kremnijli strukturalarning elektrofizik xususiyatlariga zr ti va hf kirishmalarining tasiri (1)

Тадқиқотнинг объекти Zr, Ti ва Hf билан легирланган Si, МДЯ-
структуралардан иборат. 
Тадқиқотнинг предмети: Zr, Ti ва Hf билан легирланган кремнийнинг 
DLTS ва ФС спектрлари; қийин эрувчи элементлар киришмаларининг 
назорат қилинмайдиган
киришмалар билан ўзаро таъсирлари; шунингдек, 



МДЯ-структураларда қийин эрувчи элементлар кириндилари билан 
кечадиган физик жараёнлардан иборат. 
Тадқиқотнинг 
усуллари. 
Тадқиқотларни 
амалга 
оширишда 
ностационар сиғимли чуқур сатҳлар спектроскопияси (DLTS), фотосиғими 
(ФС) ва инфрақизил (ИҚ) ютилиши усуллари қўлланилди. 
Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат: 
кремнийда Zr, Ti ва Hf атомлари сатҳларининг ҳосил қилиш 
самарадорлиги технологик режимга (ҳарорат ва диффузия вақти, шунингдек, 
намуналарнинг диффузиядан кейинги совутиш тезлиги) боғлиқлиги 
аниқланган; 
қийин эрувчи элементлар киришмалари билан ўстириш жараёнида 
легирланган кремнийда чуқур сатҳлар ҳосил бўлмаслиги, лекин 1000÷1250
о
С 
даража оралиғидаги ҳароратли қайта ишлов натижасида Zr, Ti ва Hf 
атомларининг фаоллашуви ва чуқур сатҳларнинг ҳосил бўлиши кўрсатилган; 
қийин эрувчи элементлар киришмаларининг диффузион киритиш 
жараёнида термик ва радиацион нуқсонларнинг камайиши ва кремний 
параметрларининг барқарорлашуви исботланган; 
кремний панжарасида нодир ер элементлари (лантан ёки эрбий) 
киришмаларининг мавжудлиги, қўшимча киритилган Zr, Ti ва Hf билан 
боғлик чуқур сатҳлар ҳосил бўлиш самарадорлигини ошириши илк бор 
кўрсатилган;
металл-диэлектрик-яримўтказгич структураларнинг кремний таглиги 
ҳажмидаги Zr, Ti ва Hf киришмалар таъсирида юқори частотали вольт-
фарада характеристикаларининг назорат намуналарига нисбатан манфий 
томонга силжиши МДЯ-структураларни юза ҳолатларининг зичлиги 
ошишига ва Si-SiO
2
бўлиниш чегарасида мусбат заряд ҳосил бўлишига олиб 
келиши аниқланган; 
қийин эрувчи элементлар киришмалари таъсирида кремнийли МДЯ-
структураларнинг яримўтказгич сохасининг таъқиқланган зонасининг 
кенглиги Е
g
бўйича юзавий ҳолатлари зичлигининг N
ss
тақсимоти ўзгаришига 
олиб келиши кузатилган.

Download 0,76 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   36




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish