Fertigung und Erprobung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung

Magnetkernwerkstoffe in der Dünnfilmtechnik

In der Dünnfilmtechnik kommen unterschiedliche weichmagnetische Stoffe zur Anwendung. Die wichtigsten Kennwerte für Magnetwerkstoffe sind die Permeabilität, die Koerzitivfeldstärke und die Sättigungsflussdichte. In Abhängigkeit von den gestellten Anforderungen werden Nickel, unterschiedliche Nickel-Eisen- Legierungen, Eisen-Kobalt, Eisen-Silizium-Bor sowie spezielle Eisenlegierungen eingesetzt.

Reines Nickel und Eisen-Kobalt weisen eine hohe Magnetostriktion und Koerzitivfeldstärke auf. Im Gegensatz dazu haben Nickel-Eisen-Legierungen mit hohem Nickelgehalt und Aluminium-Eisen-Silizium-Legierungen eine geringe Magnetostriktion und Koerzitivität.

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