Диссертация на соискание ученой степени

3.7 Вывод 
1. Разработана и реализована (с применением аддитивных технологий 3D 
печати из ABS пластика) модифицированная лабораторная установка для 
измерения газочувствительных свойств сенсорных структур, с возможностью 
производить измерения имеданса, в условиях изменения амплитуды тока, частоты, 
температуры и газовой среды.
2. Разработан способ получения сенсорных слоев на основе наностержней 
оксида цинка со сверхразвитой поверхностью, позволяющих получать 
чувствительность. (Научно-техническое решение защищено патентом РФ № 
2687869). 
3. Разработан новый способ создания нанолитографических рисунков, 
сформированных совокупностью ограненных наностержней оксида цинка с 
фрактально перколяционной структурой. (Научно-техническое решение защищено 
патентом РФ № 2655651). 
4. Предложена модель изменения гидрофильности поверхности наностержней 
оксида цинка путем целенаправленного жертвенного легирования йодом 

---

115 
поверхностных слоев, позволяющих в совокупности с разработанным способом 
нанолитографии обеспечить снижение влияния кроссэффектов от паров воды. 
5. Предложен способ детектирования низких концентраций газа, с 
использованием камеры предварительного накопления детектируемого газа. 
(Научно-техническое решение защищено патентом РФ № 160482). 
6. Разработан прототип сенсорного слоя работоспособного при комнатно 
температуре на основе композитной структуры наностержней ZnO-ККТ AgInS
2
, 
позволяющий проводить оптическую накачку в видимом диаппазоне излучения. 

---

116 
Глава 4 Мультисенсорный газочувствительный чип с чувствительным 
слоем из наностержней оксида цинка
В данной главе представлены результаты по разработке газочувствительного 
сенсорного устройства в мультисенсорном исполнении на базе чипа Карлсруэ. 
Авторская часть касается создания зародышевого слоя и формирования структуры 
на основе наностержней. В целом, эта часть работы выполнена в 
интернациональном 
коллективе, 
состоящем 
из 
ученых 
Саратовского 
государственного технического университета имени Гагарина Ю. А., Сколковского 
института науки и технологий и немецких исследователей Технологического 
института Карлсруэ. 
Рассмотрены особенности формирования сенсорного слоя, включая 
формирование зародышей и роста наностержней оксида цинка. 
Приводятся данные по элементарному распределению по поверхности 
образцов элементов Zn
2p3/2 
и кислород O
1s
методом рентгеноспектрального 
микроанализа по данным энергодисперсионного анализатора. 
В конце главы приводятся данные по измерению газочувствительности и 
результаты обработки газоспецифичных векторных сигналов, полученных 
посредством LDA анализа.