Диссертация на соискание ученой степени

---

Федеральное государственное автономное образовательное 
учреждение высшего образования 
«Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет 
«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
_________________________________________________________________ 
На правах рукописи 
Бобков Антон Алексеевич 
«Физико-технологические основы управления функциональными свойствами 
газочувствительных сенсоров на основе наностержней оксида цинка» 
Специальность: 05.27.06 –Технология и оборудование для 
производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. 
Диссертация на соискание ученой степени 
кандидат технических наук 
Научный руководитель 
д.ф.-м.н., профессор 
Мошников Вячеслав Алексеевич 
Санкт-Петербург 
2019 г. 

---

2 
Оглавление
Перечень условных обозначений ...................................................................... 5
 
Введение ............................................................................................................... 6
 
Глава 1 Методы и особенности формирования газочувствительных структур 
на основе одномерных ограненных наностержней ZnO ....................................... 14
 
1.1 Методы синтеза наностержней оксида цинка .......................................... 14
 
1.1.1 Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) .................................. 15
 
1.1.2 Электроосаждение ................................................................................... 19
 
1.1.3 Гидротермальный метод ......................................................................... 22
 
1.2 Контроль морфологии наностержней оксида цинка методом селективной 
электростатической адсорбции ................................................................................ 27
 
1.2.1 Влияние зародышевого слоя на морфологию наноструктур оксида 
цинка ........................................................................................................................... 29
 
1.3 Модели детектирования газов металлооксидными сенсорами .............. 34
 
1.4 Газочувствительные сенсоры на основе наностержней ZnO ................. 37
 
1.5 Выводы ......................................................................................................... 42