Цифровые интегральные микросхемы



Download 1,24 Mb.
bet4/5
Sana30.05.2022
Hajmi1,24 Mb.
#620994
1   2   3   4   5
Bog'liq
1-mustaqil ish

Dizayn

  • Yarimo'tkazgichli IClarni ishlab chiqarish uchun boshlang'ich material - qalinligi 50 mikrondan oshmaydigan va diametri 100 mikrongacha bo'lgan kremniy gofretlar, substrat deb ataladi. Yaqinda kremniy o'rniga galyum arsenidi ishlatilgan. Substratda elementlarning shakllanishi uning ikkita navi bo'lgan tekis texnologiyaga asoslangan: planar-diffuziya va tekis-epitaksial.

Planar-diffuziya texnologiyasida pn-birikma hosil bo'lgan asl monokristal plastinka nozik himoya dielektrik qatlam bilan qoplangan. Shundan so'ng, birinchi oksidli niqob fotolitografiya usuli bilan amalga oshiriladi, buning uchun himoya qatlamida kerakli pn birikmalarining soni bo'yicha kerakli konfiguratsiyaning teshiklari (derazalari) amalga oshiriladi. Buning uchun himoya qatlami fotosensitiv emulsiya - fotorezistning yupqa qatlami bilan qoplangan bo'lib, uning yuzasida kerakli niqob namunasi aks ettirilgan. Shundan so'ng, tasvir ishlab chiqiladi va fotorezistning ochiq joylari qirib tashlanib, himoya qatlami ochiladi. Ochish orqali himoya qatlamining ochiq qismlari eriydi va shu tariqa kerakli derazalar to'plami hosil bo'ladi. Olingan derazalar orqali kerakli aralashmalar dastlabki silikon substratga tarqaladi.

  • Planar-diffuziya texnologiyasida pn-birikma hosil bo'lgan asl monokristal plastinka nozik himoya dielektrik qatlam bilan qoplangan. Shundan so'ng, birinchi oksidli niqob fotolitografiya usuli bilan amalga oshiriladi, buning uchun himoya qatlamida kerakli pn birikmalarining soni bo'yicha kerakli konfiguratsiyaning teshiklari (derazalari) amalga oshiriladi. Buning uchun himoya qatlami fotosensitiv emulsiya - fotorezistning yupqa qatlami bilan qoplangan bo'lib, uning yuzasida kerakli niqob namunasi aks ettirilgan. Shundan so'ng, tasvir ishlab chiqiladi va fotorezistning ochiq joylari qirib tashlanib, himoya qatlami ochiladi. Ochish orqali himoya qatlamining ochiq qismlari eriydi va shu tariqa kerakli derazalar to'plami hosil bo'ladi. Olingan derazalar orqali kerakli aralashmalar dastlabki silikon substratga tarqaladi.

Download 1,24 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish