Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

5. Polikristall kremniy qarshiligining o’zgarishi. 
Yarim o’tkazgichli 
asboblar va integral mikrosхemalarda metall o’tkazgichlar o’rniga ko’pincha 
legirlangan polikristallik kremniy (PK) pardalardan foydalaniladi. PK pardasi 
donasi o’lchami qancha katta bo’lsa, o’tkazgichning qarshiligi shuncha kichik 
bo’ladi. Lazer bilan kuydirish donalar o’lchamini kattalashtiradi, binobarin, 
piroliz yordamida (620 
0
C va past bosimda) o’stirilgan PK pardalari qarshiligini 
kamaytiradi.
Lazer tizimi 30 ns davomiylikni va energiya zichligi 2-59 mVt/sm
2
bo’lgan impulslar hosil qiladi. Rubin lazerdan foydalanilgan holda to’lqin 
uzunligi 0,6943 mkm yoki neodim lazer bo’lganda – 1,06 mkm bo’ladi, 
namunada yorug’lik dog’i 5 sm. 
Legirlash dozasiga qarab PK parda qarshiligi turlicha bo’ladi, doza ortishi 
bilan kamayib boradi. Ammo quvvvat zichligi katta bo’lganda PK pardalari 
qtlamlanib, ularning qarshiligi ortadi. Arseniy (As) bilan legirlangan PK 
pardalari o’lchami kuydirishgacha ̃30 nm, termik kuydirishda u 40 nmga yetadi, 
lazer bilan kuydirishda 150 nmgacha yetadi. Mos ravishda, qarshiliklar nisbati 
15000:890:360. Termik kuydirishdan so’ng faollashgan kirishma hissasi 39%, 
lazer bilan kuydirishdan so’ng 93%. Impuls rejimida plastina sirti bo’yicha 
siljiyotgan lazer nuri polikristallik kremniy qatlamini qayta kristallaydi. Bu 
qarshilikning yana ham kamayishiga olib keladi.
6. Amorf va polikristall qatlamlarining qayta kristallanishi. 
Epitaksial 
teхnologiya yarimo’tkazgichli asboblar yaratilishida katta o’zgarish qildi. 
Ammo uning ba’zi kamchiliklari bor. Bu jarayonlarda yuqori temperatura tutib 
turilishi zarur, u esa pardadan (epitaksial qatlamdan) taglikka va aksincha 

---

82 
kirishmalar qayta taqsimlanishiga olib keladi, oqibatda kirishma zichligi 
chegarasi keskin bo’lmaydi. Bunday kamchiliklar lazerlar yordamida bartaraf 
qiliniishi mumkin.
Polikristall yoki amorf qatlamlarni qayta kristallash yo’li bilan epitaksial 
pardalar olish teхnologiyasining kelajagi bor. Bu usulga ko’ra, dastlab past 
temperaturada “tayyorlama” qatlamlari o’tkaziladi, keyin esa