Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

Lazer kuydirishning 
ikki usuli mavjud: 1) bir necha sm
2
yuzali sirtni 
qisqa impuls (100 ns) bilan nurlantirish; 2) kichik yuzaga (dog’ga) fokuslangan 
uzluksiz lazer nurini material sirti bo’yicha siljitib yuborio’. Uzluksiz lazer bilan 
kuydirish sharoiti shunday tanlanadiki, bunda sirt qiziydi, ammo suyulmaydi. 
Demak, qayta kristallanish qattiq fazada yuz beradi. Bunda kiritilgan ionlarning 
plastina qalinligi bo’yicha taqsimoti o’zgarmas saqlanadi. Bir misol keltiramiz.
5∙10
14
sm
-2
zichlikli va 100 keV energiyali arseniy (As) ionlari kiritilgan 
kremniy qatlamlarini kuydirish. Kuydirishgacha qatlam amorf tuzilishda 7 Vt li 
argon lazeri kuydirish o’tkaziladi, Si plastinkadagi lazer dog’ining diametri ~25 
mkm, nurning siljish tezligi 2,7 sm/s. Kuydirishdan so’ng qatlam mukammal 
kristallik tuzilishga ega bo’lib qoladi. Vaholanki, termik kuydirish (1000
°
S, 30 
min) amorf qatlamda dislokatsion sirtmoqlar ko’rinishida ko’p nuqsonlar (~10
10
sm
-2
) qoldiradi.
Lazer bilan kuydirish afzalliklari: 
1) kirishmaning diffuzion qayta taqsimlanish sezilmaydi, murakkab 
birikmalarda (masalan, A
III
B
V
da) tarkib saqlanadi; 
2) termik kuydirishga nisbatan lazer kuydirishda legirlash samaradorligi 
yuqori bo’ladi; 
3) zaryab tashuvchilar faolligi bir necha marta ortiq bo’ladi. 
4. Kirishmalarni getterlash. 
Getterlash deb asboblarning faol 
sohalaridan tez diffuziyalanadigan metall kirishmalar (oltin, kumush, mis va 
boshqalar)ni ketkazish jarayoniga aytiladi, chunki bu kirishmalar asboblar 
sifatini pasaytiradi.
Odatda, getterlash sohalarini plastinaning notekis tomonida hosil qilinadi, 
bunda muayyan nuqsonlar kiritilib, ular yuqorida aytilgan keraksiz kirishmalarni 
o’ziga biriktirib oladi. 

---

81 
Lazer ishlovi oqibatida hosil bo’lgan nuqsonlar oson nazorat qilinadi, 
ifloslik kiritmaydi va barqaror bo’ladi. Ular kirishmalarni teхnologik jarayonlar 
o’tkazilganda ham ushlab tura oladi.
Getterlash samaradorligini noasosiy zaryad tashuvchilar yashash vaqti 
bo’yicha baholanadi. Metall kirishmalar qancha kam bo’lsa, yashash vaqti 
shuncha katta bo’ladi.