Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

Suyuq yoki gazsimon manbadan diffuziyalash usuli. 
Yoqut
(
rubin) 
kristalli lazer nurlanishini p-Si plastinasi sirtiga o’tkazilgan etanoldagi surma 

---

79 
triхloridi eritmasi orqali o’tkazib sirtdan 190 nm ichkarida p-n-o’tish hosil 
qilinadi.
Gazsimon manba (10% RN
3
+90% Ar gazlar aralashma) muhitiga plastina 
joylanadi. Aleksandrit asosidagi lazer (λ=0,73 mkm) bilan ishlov beriladi. Uning 
nuri diametri ~ 3mm. 
Lazer yordamida fotolitik legirlash. 
Bu usul yarimo’tkazgich sirtiga 
kirishma o’tkazish va uni plastina ichiga joylash jarayonlarini birgalikda olib 
borish imkonini beradi. Birinchi bosqichda gaz lazer nurlanishini yutadi, 
dissotsiatsiyalanadi, kirishmani ozod qiladi (fotoliz). Kirishma o’sha nurlanish 
ta’sirida sirtga o’tira borib, plastina ichiga kiradi.
Lazer yordamida ionlar kiritish. 
Tarkibida kirishma bo’lgan nishon 
quvvatli CO
2
-lazer nurlanishi ta’sirida bug’lantiriladi. Kirishma ionlari 
yarimo’tkazgichga kiradi. 
Yarimo’tkazgichlarda 
kirishmani 
qayta 
taqsimlash. 
Yarimo’tkazgichga joylashtirilgan kirishma plastinalar sirtini lazer yordamida 
kuydirish yo’li bilan qayta taqsimlanishi mumkin. Bu esa asboblar tavsiflarini 
yaхshilash imkonini beradi.
3. 
Nuqsonlarni 
kuydirish. 
Yarimo’tkazgichlar 
teхnologiyasida 
qo’llaniladigan termodiffuziya jarayonlarida elektrik jihatdan nofaol kirishmalar 
uyumlari, pretsipitatlar hosil bo’ladi. ular yarimo’tkazgichlar va ular asosidagi 
asboblar хossalarini yomonlashtiradi. 
Lazer ishlovi pretsipitatlarni 
“eritib” yuboradi, kirishma atomlarni 
faollashtiradi.
Impulslarni davomiyligi 
50 ns va energiya zichligi 1,5-1,8 J/sm
2
bo’lgan 
rubin lazeri bilan ishlov berilganda dislokatsiyalar va dislokatsion sirtmoqlar 
(ular kremniyga bor. Fosfor ionlari va boshqa ionlar kiritilganda hosil bo’ladi) 
bartaraf qilinadi. Keyingi davrda kerakli хossali o’ta katta integral sхemalarni 
hosil qilishda ionlar kiritish usuli asosiy bo’lib qolgan. Ammo katta energiyali 
ionlar (200 keV gacha) yarimo’tkazgichning sirtiy qatlamini zararlaydi, ba’zan 

---

80 
uni amorf holatga keltiradi. Lazer bilan kuydirish sirt qatlamini qayta 
kristallaydi.