А. Тешабаев, С. Зайнабидинов, И. Каримов, С. Власов, В. Абдуазимов

 
10.5.9. р-n-ўтишларни ҳимоялаш усуллари 
 
Бу ерда қотишмали, қотишма-диффузион ва лиза-қотишмали усулларда 
олинган р-n-ўтишларни ҳимоялаш масалалари ҳақида маълумот берамиз. Бу 
турдаги асбобларга Si
2
О ва Si
3
Ν
4- 
пардалар р-n-ўтишлар ва омик контактлар 
олингандан сўнг қопланади. Олдин айтилганидек, кислород таркибли 
бирикмаларнинг сувли эритмаларидан ҳам фойдаланиш мумкин. Улар 
кремний билан ўзаро таъсирлашиб, сиртини оксидлайди-юпқа ҳимоя 
пардасини ҳосил қилади. Масалан, 100 мл сув ва 50 мг натрий ацетати, 200 
мл сув ва 70 мл ортофосфор кислота, 100 мл сув ва 50 мл сульфат кислота, 
150мл сув ва 10г қўшнатрий фосфат ва бошқа аралашмалардан фойдаланиш 
мумкин. 
Металл оксид пардалар яримўтказгич материал сиртида ҳимоя 
қопламасини ҳосил қилади. Бу пардаларнинг солиштирма қаршилиги 10
14
-
10
15 
Ом.см бўлиб, намга барқарор ва иссиққа чидамлидир. 
Al
2
O
3,
BеO, TiO
2
, ZrO
2 
xимоя пардаларини ўтқазиш учун манба 
температурасини 
800-1200
о 
С 
оралиғида, 
р-n-ўтишли 
кристал 
температурасини 350-500
о 
С оралиғида ушлаб туриш керак. Манба ва 
яримўтказгичлар кристал орасидаги масофа 10-20 см бўлиши керак. Парда 
ҳосил қилиш жараёни кварц найда олиб борилади, унинг бир учига манба 
(масалан, Al
2
O
3, 
ли тигел) ва иккинчи учига р-n-ўтишли кристал 
жойлаштирилади. Кварц найдан даставвал ҳаво чиқарилиб, кейин керакли 
миқдорда ташувчи реагент (масалан, HCl, HBr гази) киритилади. Ҳимоя 
пардалари манбалари сифатида ишқорий ер металлари; титанатлар, 
цирконатлар ва станиатлардан фойдаланиш мумкин. 
Кўпчилик турдаги яримўтказгичли асбоблар ва ИМС лар учун шиша 
пардалар билан ҳимоялаш қўлланилади. Шиша билан ҳимоялаш асбоблар 

---

89 
электрик 
параметрларини 
яхшилайди 
- 
асбобнинг 
турғунлиги, 
мустахкамлигини ва ишлаш муддатини орттиради. 
Кремний асосидаги асбобларни ҳимоя қилиш учун боросиликатли, 
фосфоросиликатли ва қўрғошинсиликатли шишалар қўлланилади. Яна 
бошқа мураккаб таркибли шишалардан хам фойдаланиш мумкин. р-n-
ўтишларни ҳимоялашда алюмосиликатли шишалар кенг қўлланилмоқда, 
чунки бу шишаларнинг ва кремнийнинг термик кенгайиши коэффицентлари 
бир бирига яқин. Оксидланган кремний сиртига шишани ўтқазиш 
ҳимоялашни янада яхшилайди- оксид қатлам кремний билан шиша 
орасидаги ёпишқоқликни оширади. 
Алюмосиликатли шишани одатда 0,2 мкм дан юпқа бўлмаган оксид 
қатламли кремний кристалига суркалади. Агар оксид қатлами ундан юпқа 
бўлса, оксид қатлам орқали яримўтказгич материалига натрий ионлари 
кириб бориши мумкин, дарвоқеъ, бундай шишаларда натрий ионлари бор 
бўлади (масалан, шишанинг бир таркиби 35%SiO
2 
+35% Al
2
O
3, 
+29,9%BeO+0,1%Na
2
O).
Шунинг 
учун 
алюмосиликатли 
шишалар 
асосан 
етарлича 
қалинликдаги 
Si
2
О
қатлами 
мавжуд 
яримўтказгичли 
кристалларда 
қўлланилади. Ҳимоя пардалари сифатида халкогенид шишалар ва мураккаб 
таркибли шишалар хам ишлатилади.