3 Проблемы регистрации электронов низких энергий

3.2 Методика эксперимента. Оборудование
Для исследования поверхности твердого тела на атомарном уровне, необходимо чтобы на протяжении эксперимента состав поверхности оставался практически неизменным, т.е. поток молекул из окружающей газовой среды на поверхность должен быть очень мал, поэтому исследования методом ЭОС проводят в вакуумной камере.
Помимо вакуумной камеры установка для проведения исследований методом ЭОС включает в себя (см. рис. 3.7) систему откачки, вентили, оборудование для работы с образцом, вспомогательное оборудование (система электрического питания и управления).



а) б)
Рисунок 3.7 - а) вакуумная камера-вид сверху, б) установка в сборе: форвакуумный насос, диффузионный насос, вентили, патрубок с гермовводами, вакуумная камера.

Установка в сборе представляет из себя вакуумный пост, обеспечивающий необходимый уровень вакуума для успешной регистрации Оже-электронов. Имеет в своем составе: форвакуумный насос, диффузионный (паромасляный) насос, вентили, патрубок с гермовводами, вакуумная камера.

В вакуумной камере располагаются исследуемый образец в виде пластины с нанесенным на одну сторону металлом, предназначенным для изучения. Эта же сторона будет облучаться фотонами с известной энергией. Эмитируемые облучаемым металлом электроны имеют 2π геометрию в сторону облучения, где и должен располагаться их детектор. Наиболее оптимальное угловое положение детектора из физических предположений это нормаль к плоскости поверхности.
Сигнал с детектора поступает на усилитель, далее на энергетический анализатор и далее на компьютер для дальнейшей обработки.