2-Mustaqil ishi

D ielektrik bilan izolatsiyalash usuli (EPIC — texnologiya). Bu
texnologiya p —n o ‘tish bilan izolatsiyalanib tayyorlangan IM Slarga
nisbatan yaxshiroq xarakteristikalarga ega m ikrosxem alar yaratish
im konini beradi. Xususan, izolatsiyalash darajasi taxm inan 6 tartibga
ortadi, teshilish kuchlanishi kattalashadi, parazit sig‘im lar taxm inan 2
tartibga kam ayadi, radiatsiyaga chidam lilik ortadi, IM S tezkorligi
oshadi. U shbu texnologiya asosida kichik q u w atli va yuqori tezlikda
ishlaydigan raqamli IM Slar yaratish maqsadga muvofiq, chunki bunday
texnologik jaray o n narxi p lanar-epitaksial texnologiyaga nisbatan
yuqori.

Sodda IM S yaratish ketm a-ketligi 7.5-rasm da ko'rsatilgan.

0‘tkazuvchanligi n — turli asosga su rm a yoki m arg u m u sh 1-^2
m km ga d iffu ziy a q ilish yo 'li bilan plastinaning butun yuzasi
b o 'y lab n+ o ‘tkazuvchanlikkaega yashirin qatlam hosil qilinadi.
Asosni n + — q atlam to m o n d a n te rm ik o k sid la b , u n in g b u tu n
yuzasida oksidq atlam hosil qilinadi. Shundan so‘ng asosning qarshi tom oni oksid qatlam gacha shlifovka
qilinadi yoki yem iriladi (7.5, f-rasm ). Shunday qilib, bir-biridan SiO,
qatlam bilan izolatsiyalangan, n+ —o ‘tkazuvchanlikli yashirin qatlam ga
ega n — sohalar (cho‘ntakchalar) hosil qilinadi. Bu sohalarda oksidlash,
fotolitografiya va diffuziya usullari bilan m ikrosxem a elem entlari
yaratiladi. Baza sohalarini hosil qilishdan boshlab keyingi jarayonlar
planar-epitaksial texnologiya jarayonlariga o ‘xshash davom etadi.
ВТ asosidagi raqam li IM Slarning b a ’zi m antiq elem entlarida ko‘p
em itterli va ko‘p kollektorli tranzistorlar qoMlanadi.
K o‘p em itterli tranzistor (K ET)ning shartli belgilanishi va tuzilmasi
7.6-rasm da ko‘rsatilgan.
K ET bazalari va kollektorlari ulangan tranzistorlar m ajm ui bo‘lib,
undagi em itterlar soni 5-^-8 ta b o'lishi m um kin. K o ‘p kollektorli
tranzistorlar (K K T) — invers rejim da ishlayotgan K ETdir. Bunda
um um iy em itter b o ‘lib K ETning kollektori, kollektorlari b o ‘lib esa
em itterlarning « +— sohalari xizm at qiladi.