1 Uzbekistan, Samarkand электронный выпуск ксерогели, стекло и объёмные керамические материалы Перспективные материалы для применений в области

СЕКЦИЯ 3. «ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ПЛЁНКИ, ПОКРЫТИЯ И МЕМБРАНЫ» 
33 
(TiAl)N-(CrAlSi)N+ ион-азотирование, (TiCr)N-(TiAl)N-(CrAlSi)N (Natcro
3
), Алмазоподобное. 
Двухфазное и многослойное покрытие с размером зерен до 5 нм, на границе которого 
расположена аморфная фаза Si
3
N
4
, подавляет коагуляцию зерен основной фазы как в процессе 
нанесения покрытия, так и в процессе работы инструмента. Перед нанесением износостойкого 
покрытия часть образцов подвергалась приповерхностному азотированию.
Покрытие Natcro
3
осаждалось на установке Platit π 311. Установки PVD последнего 
поколения все чаще оснащаются дуговыми испарителями, имеющими системы управления 
траекторией движения катодного пятна по поверхности катода. 
Установка Platit π311 содержит два вращающихся протяженных цилиндрических 
водоохлаждаемых катода. Магнитное поле создается постоянными магнитами. Управление 
движением катодного пятна производится за счет вертикального перемещения магнитной 
системы по катоду и вращением самого катода.
Наибольшее распространение имеет метод получения алмазоподобных покрытий путем 
химического осаждения на подложку из паровой фазы из углеводородов (типа ацетилен), 
подвергаемых термической или разрядной деструкции. Микротвердость покрытия в этом 
случае находится в диапазоне от 9 до 40 ГПа. Причиной этого является наличие в структуре 
химической связи получаемого аморфного покрытия атомов водорода, образующихся при 
деструкции углеводородов и осаждающихся на подложку вместе с атомами углерода. 
Многослойный 
((TiCr)N-(TiAl)N-(CrAlSi)N+ион-азотирование, 
(TiCr)N-(TiAl)N-
(CrAlSi)N(Natcro
3
), Алмазоподобное) покрытие, наносимое на этой установке отличается 
высокой стабильностью свойств. 
Для 
инструментов, 
покрытых 
износостойким 
покрытием 
и 
прошедших 
предварительную обработку, включая ионное азотирование поверхности, наблюдается 
значительное подавление развития износа вблизи вершины, что существенно задерживает 
стадию экстремального износа. В процессе обработки масса фрезы износилась следующим 
образом. 
В случае инструмента, подвергнутого комбинированной обработке, модифицированный 
слой продолжает выполнять свои защитные функции даже после разрыва покрытия, что 
отражается в картине износа инструмента. Комбинированная обработка заметно подавляет 
образование изношенного кратера на лицевой поверхности.
Результаты экспериментов указывают на возможность получения на поверхности 
быстрорежущей стали инструмента слоев, модифицированных поверхностным легированием. 
Такие слои были получены благодаря инициированию экзотермических химических реакций 
между подложкой и нанесенной на нее тонкой пленкой. В продуктах реакции обнаружено 
образование составляющих новой фазы.